Баршамызға белгілі, вакуумды булану және ионды шашырату әдетте вакуумды жабуда қолданылады. Булану жабыны мен шашыратқыш жабынның айырмашылығы неде? Келесі кезекте RSM техникалық сарапшылары бізбен бөліседі.
Вакуумды булану жабыны – бұл молекулалардың термиялық тербеліс энергиясы немесе вакуумдық дәрежесі 10-2Па кем емес ортада кедергілік қыздыру немесе электронды сәуле және лазерлік бомбалау арқылы булануға жататын материалды белгілі бір температураға дейін қыздыру. материалдағы атомдар беттің байланыс энергиясынан асып түседі, сондықтан көптеген молекулалар немесе атомдар буланады немесе сублимацияланады және тікелей пленка түзу үшін субстратта тұнбаға түседі. Ионды шашыратқыш жабын нысанды катод ретінде бомбалау үшін электр өрісінің әсерінен газ разряды арқылы түзілетін оң иондардың жоғары жылдамдықтағы қозғалысын пайдаланады, осылайша нысандағы атомдар немесе молекулалар қашып, қапталған дайындаманың бетіне шөгеді. қажетті фильм.
Вакуумды булану жабынының ең жиі қолданылатын әдісі - қарапайым құрылымның, төмен құнының және ыңғайлы жұмысының артықшылықтары бар қарсылық қыздыру; Кемшілігі - ол отқа төзімді металдар мен жоғары температураға төзімді диэлектрлік материалдарға жарамайды. Электрондық сәулелік қыздыру және лазерлік қыздыру қарсылық қыздырудың кемшіліктерін жеңе алады. Электрондық сәулелік қыздыру кезінде фокусталған электрон сәулесі бомбаланған материалды тікелей қыздыру үшін пайдаланылады, ал электронды сәуленің кинетикалық энергиясы жылу энергиясына айналады, бұл материалды буландырады. Лазерлік қыздыру қыздыру көзі ретінде жоғары қуатты лазерді пайдаланады, бірақ жоғары қуатты лазердің құны жоғары болғандықтан, оны қазіргі уақытта бірнеше зерттеу зертханаларында ғана қолдануға болады.
Шашырату технологиясы вакуумды булану технологиясынан ерекшеленеді. «Шақыру» зарядталған бөлшектердің қатты бетті (нысананы) бомбалауы және қатты атомдарды немесе молекулаларды бетінен атқылау құбылысын білдіреді. Шығарылатын бөлшектердің көпшілігі атомдық күйде болады, бұл көбінесе шашыраған атомдар деп аталады. Нысананы бомбалау үшін қолданылатын шашыраған бөлшектер электрондар, иондар немесе бейтарап бөлшектер болуы мүмкін. Қажетті кинетикалық энергияны алу үшін иондарды электр өрісі астында жылдамдату оңай болғандықтан, олардың көпшілігі иондарды бомбаланған бөлшектер ретінде пайдаланады. Шашырату процесі жарқырау разрядына негізделген, яғни шашыратқыш иондар газ разрядынан пайда болады. Әртүрлі шашырату технологиялары әртүрлі жарқырау разряд режимдерін қабылдайды. Тұрақты ток диодын шашырату тұрақты ток жарқырауын пайдаланады; Триодты шашырату - ыстық катодпен қолдау көрсететін жарқырау разряды; РЖ шашырату RF жарқырауын пайдаланады; Магнетронды шашырату – сақиналы магнит өрісімен басқарылатын жарқырау разряды.
Вакуумды булану жабынымен салыстырғанда, шашыратқыш жабынның көптеген артықшылықтары бар. Мысалы, кез келген зат, әсіресе балқу температурасы жоғары және бу қысымы төмен элементтер мен қосылыстар шашырауы мүмкін; Шашыратылған пленка мен субстрат арасындағы адгезия жақсы; Жоғары пленка тығыздығы; Пленка қалыңдығын басқаруға болады және қайталану мүмкіндігі жақсы. Кемшілігі - жабдық күрделі және жоғары вольтты құрылғыларды қажет етеді.
Сонымен қатар, булану әдісі мен шашырату әдісінің комбинациясы ионды қаптау болып табылады. Бұл әдістің артықшылығы - алынған пленканың субстратпен күшті адгезиясы, жоғары тұндыру жылдамдығы және пленка тығыздығы жоғары.
Жіберу уақыты: 20.07.2022 ж