Rich Special Material Co., Ltd. компаниясы жартылай өткізгіш өнеркәсібі үшін жоғары таза алюминийді шашырату нысандарын, мыс бүріккіштерді, танталды шашырату нысандарын, титанды шашырату нысандарын және т.б. шығара алады.
Жартылайөткізгіш микросхемалар жоғары техникалық талаптарға және тозаңдату нысандарына жоғары бағаға ие. Олардың тозаңдату нысандарының тазалығы мен технологиясына қойылатын талаптары жалпақ панельді дисплейлерге, күн батареяларына және басқа қолданбаларға қарағанда жоғары. Жартылай өткізгішті микросхемалар тозаңдату нысандарының тазалығы мен ішкі микроқұрылымына өте қатаң стандарттар қояды. Егер шашыратқыш нысандағы қоспа мөлшері тым жоғары болса, түзілген пленка қажетті электрлік қасиеттерге жауап бере алмайды. Шашырату процесінде пластинада бөлшектердің түзілуі оңай, нәтижесінде қысқа тұйықталу немесе тұйықталу зақымдалуы пленканың жұмысына елеулі әсер етеді. Жалпы айтқанда, чиптерді өндіру үшін ең жоғары тазалықтағы шашырату мақсаты қажет, ол әдетте 99,9995% (5N5) немесе одан жоғары.
Шашырату нысандары тосқауыл қабаттарын және металл сым қабаттарын орау үшін қолданылады. Вафельді өндіру процесінде нысана негізінен вафлидің өткізгіш қабатын, тосқауыл қабатын және металл торын жасау үшін қолданылады. Чипті орау процесінде шашыратқыш нысана металл қабаттарын, сым қабаттарын және басқа металл материалдарды бұдырлардың астына шығару үшін қолданылады. Вафли өндірісінде және чипті қаптамада қолданылатын мақсатты материалдардың мөлшері аз болғанымен, SEMI статистикасына сәйкес, вафли өндірісі мен орау процесіндегі мақсатты материалдардың құны шамамен 3% құрайды. Дегенмен, шашыратқыш нысананың сапасы өткізгіш қабат пен тосқауыл қабатының біркелкілігі мен өнімділігіне тікелей әсер етеді, осылайша чиптің беріліс жылдамдығы мен тұрақтылығына әсер етеді. Сондықтан шашырату нысанасы жартылай өткізгіш өндірісінің негізгі шикізатының бірі болып табылады
Жіберу уақыты: 16 қараша 2022 ж