Барлығымыз білетіндей, шашырату нысандарының көптеген сипаттамалары бар және олардың қолдану өрістері де өте кең. Әртүрлі салаларда жиі қолданылатын нысаналардың түрлері де әртүрлі. Бүгін RSM редакторының көмегімен мақсатты қолданбалы өрістердің шашырауын жіктеу туралы білейік!
1、 Шашырату нысанасының анықтамасы
Шашырату - жұқа үлбірлі материалдарды дайындаудың негізгі технологияларының бірі. Ол ион көзі шығаратын иондарды жылдамдату және вакуумда жиналу үшін пайдаланады, жоғары жылдамдықты иондар сәулесін құрайды, қатты бетті бомбалайды және иондар қатты беттегі атомдармен кинетикалық энергиямен алмасады, осылайша қатты денедегі атомдар беті қатты заттан бөлініп, субстрат бетіне қойылады. Бомбаланған қатты зат тозаңдату арқылы тұндырылған жұқа қабықшаны дайындауға арналған шикізат болып табылады, оны бүрку нысанасы деп атайды.
2、 Шашыраудың мақсатты қолданбалы өрістерінің жіктелуі
1. Жартылай өткізгіш нысанасы
(1) Жалпы мақсаттар: осы саладағы ортақ мақсаттарға тантал / мыс / титан / алюминий / алтын / никель сияқты балқу температурасы жоғары металдар кіреді.
(2) Қолданылуы: негізінен интегралдық схемалар үшін негізгі шикізат ретінде пайдаланылады.
(3) Өнімділік талаптары: тазалыққа, өлшемге, интеграцияға және т.б. жоғары техникалық талаптар.
2. Тегіс панельді дисплейге арналған мақсат
(1) Жалпы мақсаттар: осы саладағы ортақ мақсаттарға алюминий / мыс / молибден / никель / ниобий / кремний / хром және т.б. кіреді.
(2) Қолданылуы: бұл нысан негізінен теледидарлар мен ноутбуктер сияқты үлкен аумақты фильмдердің әртүрлі түрлері үшін пайдаланылады.
(3) Өнімділік талаптары: тазалыққа, үлкен аумаққа, біркелкілікке және т.б.
3. Күн батареясының мақсатты материалы
(1) Жалпы нысандар: алюминий / мыс / молибден / хром /ITO/Ta және күн батареяларына арналған басқа да нысандар.
(2) Қолданылуы: негізінен «терезе қабатында», тосқауыл қабатында, электродта және өткізгіш пленкада қолданылады.
(3) Өнімділік талаптары: жоғары техникалық талаптар және кең қолдану ауқымы.
4. Ақпаратты сақтауға арналған мақсат
(1) Жалпы мақсаттар: кобальт / никель / ферроқорытпа / хром / теллур / селен және ақпаратты сақтауға арналған басқа материалдардың ортақ нысандары.
(2) Қолдану: мақсатты материалдың бұл түрі негізінен магниттік бас, ортаңғы қабат және оптикалық дискі мен оптикалық дискінің төменгі қабаты үшін қолданылады.
(3) Өнімділік талаптары: жоғары сақтау тығыздығы және жоғары тасымалдау жылдамдығы қажет.
5. Құралды өзгертуге арналған мақсат
(1) Жалпы мақсаттар: құралдармен өзгертілген титан/цирконий/хром алюминий қорытпасы сияқты ортақ мақсаттар.
(2) Қолданылуы: әдетте бетті нығайту үшін қолданылады.
(3) Өнімділік талаптары: жоғары өнімділік талаптары және ұзақ қызмет ету мерзімі.
6. Электрондық құрылғыларға арналған мақсаттар
(1) Жалпы мақсаттар: электронды құрылғыларға арналған жалпы алюминий қорытпасы/силицидті нысандар
(2) Мақсаты: әдетте жұқа қабықшалы резисторлар мен конденсаторлар үшін қолданылады.
(3) Өнімділік талаптары: шағын өлшем, тұрақтылық, төмен қарсылық температура коэффициенті
Жіберу уақыты: 27 шілде 2022 ж