RSM техникалық кеңесшісі сізбен цилиндрлік және жазық магнетронды шашырату нысандарының артықшылықтарымен бөліседі? Басқа магнетронды шашырату нысандарымен салыстырғанда, цилиндрлік және жазық магнетронды шашырату нысандары тікбұрышты жазық нысаналарды жабудың жақсы біркелкілігінің артықшылықтарын сақтайды және келесі екі жолмен нысаналарды пайдалануды барынша арттыруға болады:
(1) Нысананың бетіндегі сақиналы шұңқырлардың екі тобы (төрт) белгілі бір тереңдікке жеткенде, мақсатты өзек (магнит бөлігі) мақсатты түтікке қатысты 45 ° бұрылуы мүмкін, осылайша нысана түтіктегі басқа аймақтар тот баспағандарды пайдалануға болады;
(2) Цилиндрлік және жазық магнетронды шашырату нысанасының мақсатты өзегі айналмалы нысана өзегі ретінде жобаланған кезде (мақсатты өзек тозаңдату кезінде айналады), нысананың беті қабат-қабат шұңқырсыз біркелкі шашыратылуы мүмкін. Осы уақытта нысана барынша тиімді пайдаланылады және мақсатты пайдалану деңгейі 50% ~ 60% жетуі мүмкін Мақсатты материал бағалы металл болған кезде, бұл өте маңызды.
Соңғы магнит өрісінің мәселесін шешу үшін коаксиалды цилиндрлік магнетронды шашыратқыш нысанда полюсті магнит принципін қолдану арқылы тікбұрышты жазықтық нысанасын цилиндрлік және жазық магнетронды шашыратқыш нысанаға айналдыруға болады, мақсат нысананы пайдалану жылдамдығын барынша арттыра алады. Экономикалық пайданы жақсарту үшін мақсатты тікбұрышты жазықтықтың жақсы жабынының біркелкілігін сақтай отырып.
Жіберу уақыты: 04 шілде 2022 ж