სიფრთხილის ზომები შენადნობის სამიზნეებისთვის

1, ჭურვის მომზადება

ძალზე მნიშვნელოვანია ვაკუუმური კამერის, განსაკუთრებით დაფრქვევის სისტემის სისუფთავის შენარჩუნება. ნებისმიერი ნარჩენი, რომელიც წარმოიქმნება საპოხი ზეთით, მტვერით და წინა საფარით, შეაგროვებს წყლის ორთქლს და სხვა დამაბინძურებლებს, რაც პირდაპირ იმოქმედებს ვაკუუმის ხარისხზე და გაზრდის ფილმის წარმოქმნის უკმარისობის შესაძლებლობას. მოკლე ჩართვა ან სამიზნე რკალი, უხეში ფირის ზედაპირი და ჭარბი ქიმიური მინარევების შემცველობა ხშირად გამოწვეულია უწმინდური გამაფხვიერებელი კამერით, თოფით და სამიზნით. საფარის შემადგენლობის მახასიათებლებთან დასაცავად, აუცილებელია გაჟღენთილი გაზის (არგონი ან ჟანგბადის) გაწმენდა და გაშრობა. მას შემდეგ, რაც სუბსტრატი დამონტაჟდება ჩახშობის პალატაში, საჭიროა ჰაერის ამოღება პროცესისთვის საჭირო ვაკუუმის მისაღწევად. ბნელ ადგილას დამცავი საფარი, ღრუს კედელი და მიმდებარე ზედაპირი ასევე უნდა იყოს სუფთა. ვაკუუმური კამერის გაწმენდისას, ჩვენ მხარს ვუჭერთ შუშის ბურთის აფეთქებას მტვრიანი ნაწილების დასამუშავებლად, შეკუმშულ ჰაერთან ერთად კამერის ირგვლივ ნაადრევი ნარჩენების მოსაშორებლად, შემდეგ კი გარე ზედაპირი ჩუმად გავაპრიალოთ ალუმინის გაჟღენთილი ქვიშის ქაღალდით. გაზის ქაღალდის გაპრიალების შემდეგ მას ასუფთავებენ სპირტით, აცეტონით და დეიონიზებული წყლით. ერთად, ის მხარს უჭერს სამრეწველო მტვერსასრუტის გამოყენებას დამხმარე გაწმენდისთვის. Gaozhan metal-ის მიერ წარმოებული სამიზნეები შეფუთულია ვაკუუმ-დალუქულ პლასტმასის ჩანთებში,

ჩაშენებული ტენიანობის საწინააღმდეგო აგენტი. სამიზნის გამოყენებისას გთხოვთ, პირდაპირ ხელით არ შეეხოთ სამიზნეს. შენიშვნა: სამიზნის გამოყენებისას, გთხოვთ, ატაროთ სუფთა და ლაქებიანი ტექნიკური ხელთათმანები. არასოდეს შეეხოთ მიზანს პირდაპირ ხელებით

2, მიზნობრივი გაწმენდა

სამიზნის გაწმენდის მიზანია მტვრის ან ჭუჭყის მოცილება, რომელიც შესაძლოა არსებობდეს სამიზნის ზედაპირზე.

ლითონის სამიზნე შეიძლება გაიწმინდოს ოთხ ეტაპზე,

პირველი ნაბიჯი არის აცეტონში დასველებული რბილი ქსოვილით გაწმენდა;

მეორე საფეხური პირველი ნაბიჯის მსგავსია, სპირტით გაწმენდა;

ნაბიჯი 3: გაწმენდა დეიონირებული წყლით. დეიონიზებული წყლით გარეცხვის შემდეგ სამიზნე მოათავსეთ ღუმელში და გააშრეთ 100℃ 30 წუთის განმავლობაში.

ოქსიდისა და კერამიკული სამიზნეების გაწმენდა უნდა განხორციელდეს „უფრო ნაჭრით“.

მეოთხე ნაბიჯი არის სამიზნის გარეცხვა არგონით მაღალი წნევით და დაბალი წყლის გაზით, მტვრიანი უბნის მოშორების შემდეგ, რათა მოიცილოს ყველა მინარევის ნაწილაკი, რომელიც შეიძლება წარმოქმნას რკალი თხრილის სისტემაში.

3, სამიზნე მოწყობილობა

სამიზნე ინსტალაციის პროცესში, Z მნიშვნელოვანი სიფრთხილის ზომებია კარგი თერმოგამტარობის კავშირის უზრუნველსაყოფად სამიზნესა და თოფის გამაგრილებელ კედელს შორის. თუ გამაგრილებელი ჯოხის დახრილობა ძლიერია ან უკანა ფირფიტის დახრილობა ძლიერია, სამიზნე მოწყობილობა გაიბზარება ან მოხრილდება და თბოგამტარობა უკანა სამიზნედან სამიზნემდე დიდად იმოქმედებს, რაც გამოიწვევს სითბოს გაფრქვევას. თხრილის პროცესში და სამიზნე გაიბზარება ან გამოტოვებს

თერმული კონდუქტომეტრის უზრუნველსაყოფად, გრაფიტის ქაღალდის ფენა შეიძლება მოთავსდეს კათოდის გაგრილების კედელსა და სამიზნეს შორის. გთხოვთ, ყურადღება მიაქციოთ, რომ ყურადღებით შეამოწმოთ და ნათლად გაარკვიოთ თხრილის იარაღის გამაგრილებელი კედლის სიბრტყე, რათა უზრუნველყოთ O-ring ყოველთვის ადგილზე.

ვინაიდან გამოყენებული გამაგრილებელი წყლის სისუფთავე და მტვერი, რომელიც შეიძლება წარმოიშვას აღჭურვილობის მუშაობის დროს, დაგროვდება კათოდური გამაგრილებელი წყლის ავზში, სამიზნის დამონტაჟებისას აუცილებელია კათოდური გამაგრილებელი წყლის ავზის შემოწმება და გაწმენდა, რათა უზრუნველყოს გლუვი. გამაგრილებელი წყლის მიმოქცევა და რომ შესასვლელი და გამოსასვლელი არ დაიბლოკება.

ზოგიერთ კათოდს ანოდთან მცირე სივრცე აქვს დაგეგმილი, ამიტომ სამიზნის დაყენებისას საჭიროა იმის უზრუნველყოფა, რომ კათოდსა და ანოდს შორის არ იყოს შეხება ან გამტარი, წინააღმდეგ შემთხვევაში მოხდება მოკლე ჩართვა.

იხილეთ აღჭურვილობის ოპერატორის ინსტრუქციები სამიზნის სწორად მუშაობის შესახებ ინფორმაციისთვის. თუ ასეთი ინფორმაცია არ არის მომხმარებლის სახელმძღვანელოში, გთხოვთ, სცადოთ მოწყობილობის დაყენება Gaozhan metal-ის მიერ მოწოდებული შესაბამისი წინადადებების შესაბამისად. სამიზნე სამაგრის დაჭიმვისას ჯერ ერთი ჭანჭიკი ხელით მოიმაგრეთ, შემდეგ კი დიაგონალზე მეორე ჭანჭიკი ხელით. გაიმეორეთ ეს მანამ, სანამ მოწყობილობაზე ყველა ჭანჭიკი არ დაიჭიმება, შემდეგ კი რაიმეთი მოიმაგრეთ.

4, მოკლე ჩართვისა და შებოჭილობის შემოწმება

სამიზნე მოწყობილობის დასრულების შემდეგ საჭიროა შემოწმდეს მთელი კათოდის მოკლე ჩართვა და შებოჭილობა,

შემოთავაზებულია იმის დადგენა, არის თუ არა კათოდში მოკლე ჩართვა წინააღმდეგობის მრიცხველის გამოყენებით

რიგის დისკრიმინაცია. მას შემდეგ, რაც დაადასტურეთ, რომ კათოდში არ არის მოკლე ჩართვა, შეიძლება განხორციელდეს გაჟონვის გამოვლენა და წყლის შეყვანა შესაძლებელია კათოდში, რათა დაადასტუროს არის თუ არა წყლის გაჟონვა.

5, მიზანმიმართული გაფცქვნამდე

სამიზნე წინასწარ sputtering მხარს უჭერს სუფთა არგონის sputtering, რომელსაც შეუძლია გაწმენდა ზედაპირზე სამიზნე. როდესაც სამიზნე წინასწარ არის გაჟღენთილი, მიზანშეწონილია ნელ-ნელა გაზარდოს ჭურვის სიმძლავრე, ხოლო კერამიკული სამიზნის სიმძლავრის გაზრდის სიჩქარეა 1,5 WH / სმ2. ლითონის სამიზნეების წინასწარი დაფრქვევის სიჩქარე შეიძლება იყოს უფრო მაღალი, ვიდრე კერამიკული სამიზნე ბლოკისა და სიმძლავრის გაზრდის გონივრული სიჩქარეა 1.5WH/cm2.

წინასწარი ცურვის პროცესში უნდა შევამოწმოთ სამიზნის რკალი. წინასწარი sputtering დრო ზოგადად დაახლოებით 10 წუთი. თუ არ არის რკალის ფენომენი, განუწყვეტლივ გაზარდეთ დაფრქვევის ძალა

დაყენებულ ძალამდე. გამოცდილების მიხედვით, ლითონის სამიზნის მისაღები Z მაღალი ჭურვის სიმძლავრეა

25 ვატი/სმ2, 10 ვატი/სმ2 კერამიკული სამიზნისთვის. გთხოვთ, იხილეთ მომხმარებლის სისტემის მუშაობის სახელმძღვანელოში ვაკუუმური კამერის წნევის დაყენების საფუძვლები და გამოცდილება ჭურვის დროს. ზოგადად, უზრუნველყოფილი უნდა იყოს, რომ წყლის ტემპერატურა გამაგრილებელი წყლის გამოსასვლელში უნდა იყოს 35 ℃-ზე დაბალი, მაგრამ Z მნიშვნელოვანია იმის უზრუნველყოფა, რომ გაგრილების წყლის მიმოქცევის სისტემამ ეფექტურად იმუშაოს.

სუპერგამაგრილებელი წყლის სწრაფი მიმოქცევა შლის სითბოს, რაც მნიშვნელოვანი გარანტიაა უწყვეტი ჭურვის მაღალი სიმძლავრის უზრუნველსაყოფად. ლითონის სამიზნეებისთვის, ზოგადად ამტკიცებენ, რომ გამაგრილებელი წყლის ნაკადი არის

20 ლ/წთ წყლის წნევა არის დაახლოებით 5 გმპ; კერამიკული სამიზნეებისთვის, ზოგადად მიღებულია, რომ წყლის ნაკადი არის 30 lpm და წყლის წნევა დაახლოებით 9 gmp

6, მიზნობრივი შენარჩუნება

იმისათვის, რომ თავიდან იქნას აცილებული მოკლე ჩართვა და რკალი, რომელიც გამოწვეულია უწმინდური ღრუში დაფქვის პროცესში, საჭიროა ეტაპობრივად ამოღებულ იქნეს დაფხვნილის ტრასის ცენტრში და ორივე მხარეს დაგროვილი ნამწვი.

ეს ასევე ეხმარება მომხმარებლებს განუწყვეტლივ თხრიან z მაღალი სიმძლავრის სიმკვრივეზე

7, მიზნობრივი შენახვა

Gaozhan metal-ის მიერ მოწოდებული სამიზნეები შეფუთულია ორფენიანი ვაკუუმური პლასტმასის ჩანთებში. ჩვენ მხარს ვუჭერთ, რომ მომხმარებლებმა შეინახონ სამიზნეები, იქნება ეს ლითონის თუ კერამიკული, ვაკუუმურ შეფუთვაში. კერძოდ, შემაკავშირებელ სამიზნეებს უნდა ინახებოდეს ვაკუუმის პირობებში, რათა არ მოხდეს შემაკავშირებელი ფენის დაჟანგვის გავლენა შემაკავშირებელ ხარისხზე. რაც შეეხება ლითონის სამიზნეების შეფუთვას, ჩვენ მხარს ვუჭერთ, რომ Z უნდა იყოს შეფუთული სუფთა პლასტმასის ჩანთებში