მოთხოვნები გამოყენებისას სამიზნე მასალების გაფცქვნას

დაფხვნილ სამიზნე მასალებს აქვთ მაღალი მოთხოვნები გამოყენების დროს, არა მხოლოდ სიწმინდესა და ნაწილაკების ზომაზე, არამედ ნაწილაკების ერთგვაროვან ზომაზე. ეს მაღალი მოთხოვნები გვაიძულებს მეტი ყურადღება მივაქციოთ სამიზნე მასალის გამოყენებისას.

1. ჭურვის მომზადება

ძალზე მნიშვნელოვანია ვაკუუმური კამერის სისუფთავის დაცვა, განსაკუთრებით დაფქვის სისტემის. საპოხი მასალები, მტვერი და ნებისმიერი ნარჩენი წინა საფარიდან შეიძლება დაგროვდეს დამაბინძურებლების, როგორიცაა წყალი, რაც პირდაპირ გავლენას მოახდენს ვაკუუმზე და ზრდის ფირის წარმოქმნის უკმარისობის ალბათობას. მოკლე ჩართვა, სამიზნე რკალი, უხეში ფირის წარმომქმნელი ზედაპირები და ზედმეტი ქიმიური მინარევები, როგორც წესი, გამოწვეულია უწმინდური ჭურვის კამერებით, თოფებით და სამიზნეებით.

საფარის კომპოზიციური მახასიათებლების შესანარჩუნებლად, გამწოვი გაზი (არგონი ან ჟანგბადი) უნდა იყოს სუფთა და მშრალი. სუბსტრატის დამონტაჟების შემდეგ, საჭიროა ჰაერის ამოღება პროცესისთვის საჭირო ვაკუუმის დონის მისაღწევად.

2. მიზნობრივი გაწმენდა

სამიზნის გაწმენდის მიზანია ნებისმიერი მტვრის ან ჭუჭყის მოცილება, რომელიც შეიძლება იყოს სამიზნის ზედაპირზე.

3. მიზნობრივი მონტაჟი

ყველაზე მნიშვნელოვანი, რასაც ყურადღება უნდა მიაქციოთ სამიზნე მასალის დაყენების პროცესში, არის კარგი თერმული კავშირის უზრუნველყოფა სამიზნე მასალასა და თოფის გამაგრილებელ კედელს შორის. თუ გამაგრილებელი კედელი ან უკანა ფირფიტა ძლიერ დახრილია, ამან შეიძლება გამოიწვიოს ბზარი ან მოხრა სამიზნე მასალის დამონტაჟებისას. სითბოს გადაცემა უკანა სამიზნედან სამიზნე მასალაზე დიდ გავლენას მოახდენს, რაც გამოიწვევს სითბოს გაფანტვის შეუძლებლობას ჭურვის დროს, რაც საბოლოოდ გამოიწვევს სამიზნე მასალის გატეხვას ან გადახრას.

4. მოკლე ჩართვისა და დალუქვის შემოწმება

სამიზნე მასალის დამონტაჟების შემდეგ საჭიროა შემოწმდეს მთელი კათოდის მოკლე ჩართვა და დალუქვა. რეკომენდირებულია გამოიყენოთ ომმეტრი და მეგოჰმეტრი, რათა დადგინდეს, არის თუ არა კათოდი მოკლე ჩართვის. დადასტურების შემდეგ, რომ კათოდი არ არის მოკლე ჩართვა, შეიძლება განხორციელდეს გაჟონვის გამოვლენა კათოდში წყლის შეყვანით, რათა დადგინდეს არის თუ არა რაიმე გაჟონვა.

5. სამიზნე მასალა წინასწარ sputtering

მიზანშეწონილია გამოიყენოთ სუფთა არგონის გაზი სამიზნე მასალის წინასწარი გაფცქვნისთვის, რომელსაც შეუძლია სამიზნე მასალის ზედაპირის გაწმენდა. რეკომენდირებულია ნელ-ნელა გაიზარდოს თხრილის სიმძლავრე სამიზნე მასალისთვის წინასწარი ცურვის პროცესის დროს. კერამიკული სამიზნე მასალის ძალა