სამიზნე მასალის დაფრქვევის ძირითადი თვისებები

ჩვენ ახლა ძალიან კარგად უნდა ვიცოდეთ სამიზნე, ახლა სამიზნე ბაზარიც იზრდება, ქვემოთ მოცემულია რა არის RSM-ის რედაქტორის მიერ გაზიარებული სამიზნე sputtering-ის ძირითადი შესრულება.

　　სიწმინდე

სამიზნე მასალის სისუფთავე არის შესრულების ერთ-ერთი მთავარი მაჩვენებელი, რადგან სამიზნე მასალის სისუფთავე დიდ გავლენას ახდენს თხელი ფირის მუშაობაზე. თუმცა, პრაქტიკულ გამოყენებაში, სამიზნე მასალების სისუფთავის მოთხოვნები არ არის იგივე. მაგალითად, მიკროელექტრონული ინდუსტრიის სწრაფი განვითარებასთან ერთად, სილიკონის ჩიპის ზომა განვითარდა 6 “, 8 “-დან 12″-მდე, ხოლო გაყვანილობის სიგანე შემცირდა 0,5 მმ-დან 0,25 მმ-მდე, 0,18 მმ-მდე ან თუნდაც 0,13 მმ-მდე. ადრე, 99,995% სამიზნე მასალის სიწმინდეს შეუძლია დააკმაყოფილოს პროცესის მოთხოვნები 0,35umIC. სამიზნე მასალის სისუფთავე არის 99.999% ან თუნდაც 99.9999% 0.18um ხაზების მოსამზადებლად.

　　მინარევების შემცველობა

მინარევები სამიზნე მყარში და ჟანგბადი და წყლის ორთქლი ფორებში არის ფილმის დეპონირების ძირითადი დაბინძურების წყარო. სხვადასხვა დანიშნულების სამიზნე მასალებს განსხვავებული მოთხოვნები აქვთ სხვადასხვა მინარევების შემცველობის მიმართ. მაგალითად, სუფთა ალუმინის და ალუმინის შენადნობის სამიზნეებს, რომლებიც გამოიყენება ნახევარგამტარულ ინდუსტრიაში, აქვთ სპეციალური მოთხოვნები ტუტე ლითონებისა და რადიოაქტიური ელემენტების შემცველობაზე.

　　სიმკვრივე

იმისათვის, რომ შემცირდეს ფორიანობა სამიზნე მყარში და გაუმჯობესდეს დახვეწილი ფირის მოქმედება, ჩვეულებრივ საჭიროა სამიზნის მაღალი სიმკვრივე. სამიზნის სიმკვრივე გავლენას ახდენს არა მხოლოდ დაფქვის სიჩქარეზე, არამედ ფილმის ელექტრულ და ოპტიკურ თვისებებზე. რაც უფრო მაღალია სამიზნე სიმკვრივე, მით უკეთესია ფილმის შესრულება. გარდა ამისა, სამიზნის სიმკვრივისა და სიმტკიცის გაზრდა სამიზნეს უკეთესად გაუძლებს თერმულ სტრესს დახრჩობის პროცესში. სიმკვრივე ასევე არის სამიზნის შესრულების ერთ-ერთი მთავარი მაჩვენებელი.

　　მარცვლის ზომა და მარცვლის ზომის განაწილება

სამიზნე ჩვეულებრივ პოლიკრისტალურია, მარცვლის ზომა მერყეობს მიკრომეტრიდან მილიმეტრამდე. ერთი და იგივე სამიზნისთვის, წვრილმარცვლებით სამიზნის თხრილის სიჩქარე უფრო სწრაფია, ვიდრე მსხვილი მარცვლებით. დაფხვნილი სამიზნით დეპონირებული ფირების სისქის განაწილება მარცვლების ზომის მცირე სხვაობით (ერთგვაროვანი განაწილება) უფრო ერთგვაროვანია.