ულტრა მაღალი სისუფთავის ალუმინის სამიზნეების მახასიათებლები

ბოლო წლებში, ინტეგრირებული მიკროსქემის (IC) ტექნოლოგიის პროგრესთან ერთად, ინტეგრირებული სქემების შესაბამისი აპლიკაციები სწრაფად განვითარდა. ულტრა მაღალი სისუფთავის ალუმინის შენადნობის სამიზნე, როგორც დამხმარე მასალა ინტეგრირებული მიკროსქემის ლითონის ურთიერთდაკავშირების წარმოებაში, გახდა აქტუალური თემა ბოლო შიდა კვლევებში. RSM-ის რედაქტორი გვიჩვენებს მაღალი სისუფთავის ალუმინის შენადნობის სამიზნის მახასიათებლებს.

მაგნიტრონის დაფხვნილის სამიზნის დახვეწის ეფექტურობის შემდგომი გასაუმჯობესებლად და დეპონირებული ფირების ხარისხის უზრუნველსაყოფად, ექსპერიმენტების დიდი რაოდენობა აჩვენებს, რომ არსებობს გარკვეული მოთხოვნები ულტრა მაღალი სისუფთავის ალუმინის შენადნობის სამიზნის შემადგენლობის, მიკროსტრუქტურისა და მარცვლის ორიენტაციისთვის.

მარცვლის ზომა და სამიზნის მარცვლის ორიენტაცია დიდ გავლენას ახდენს IC ფილმების მომზადებასა და თვისებებზე. შედეგები აჩვენებს, რომ დეპონირების სიჩქარე მცირდება მარცვლის ზომის მატებასთან ერთად; ერთი და იგივე შემადგენლობის მქონე სამიზნეზე, მცირე მარცვლის მქონე სამიზნის თხრილის სიჩქარე უფრო სწრაფია, ვიდრე დიდი მარცვლეულის მქონე სამიზნისა; რაც უფრო ერთგვაროვანია სამიზნის მარცვლის ზომა, მით უფრო ერთგვაროვანია დეპონირებული ფილმების სისქის განაწილება.

ერთი და იგივე დაფხვნილის ხელსაწყოსა და პროცესის პარამეტრების მიხედვით, Al Cu შენადნობის სამიზნის დახშობის სიჩქარე იზრდება ატომური სიმკვრივის მატებასთან ერთად, მაგრამ ის ზოგადად სტაბილურია დიაპაზონში. მარცვლის სიდიდის გავლენა დაფხვრის სიჩქარეზე განპირობებულია ატომური სიმკვრივის ცვლილებით მარცვლის ზომის ცვლილებით; დეპონირების სიჩქარეზე ძირითადად გავლენას ახდენს Al Cu შენადნობის სამიზნე მარცვლის ორიენტაცია. (200) კრისტალური სიბრტყის პროპორციის უზრუნველსაყოფად, (111), (220) და (311) ბროლის სიბრტყის პროპორციის ზრდა გაზრდის დეპონირების სიჩქარეს.

ულტრა მაღალი სისუფთავის ალუმინის შენადნობის სამიზნეების მარცვლების ზომა და მარცვლის ორიენტაცია ძირითადად რეგულირდება და კონტროლდება შიგთავსის ჰომოგენიზაციის, ცხელი სამუშაოების და რეკრისტალიზაციის ანეილირების გზით. ვაფლის ზომის 20,32 სმ (8 დიუმი) და 30,48 სმ (12 დიუმი) განვითარებით, სამიზნე ზომა ასევე იზრდება, რაც უფრო მაღალ მოთხოვნებს აყენებს ულტრა მაღალი სისუფთავის ალუმინის შენადნობის ჭედური სამიზნეებისთვის. ფირის ხარისხისა და მოსავლიანობის უზრუნველსაყოფად, სამიზნე დამუშავების პარამეტრები მკაცრად უნდა იყოს კონტროლირებადი, რათა სამიზნე მიკროსტრუქტურა ერთგვაროვანი გახდეს და მარცვლის ორიენტაციას უნდა ჰქონდეს ძლიერი (200) და (220) სიბრტყე ტექსტურა.