დამახასიათებელი მოთხოვნები მოლიბდენის დაფხვნილის სამიზნე

ცოტა ხნის წინ, ბევრმა მეგობარმა იკითხა მოლიბდენის დაფქვის სამიზნეების მახასიათებლების შესახებ. ელექტრონულ ინდუსტრიაში, ჭურვის ეფექტურობის გასაუმჯობესებლად და დეპონირებული ფილმების ხარისხის უზრუნველსაყოფად, რა მოთხოვნილებებია მოლიბდენის დაფქვის სამიზნეების მახასიათებლებზე? ახლა ამას RSM-ის ტექნიკური ექსპერტები აგვიხსნიან.

　　1. სიწმინდე

მაღალი სისუფთავე არის მოლიბდენის სამიზნის ძირითადი დამახასიათებელი მოთხოვნა. რაც უფრო მაღალია მოლიბდენის სამიზნის სისუფთავე, მით უკეთესია დაფქული ფირის მოქმედება. ზოგადად, მოლიბდენის დაფქვის სამიზნის სისუფთავე უნდა იყოს მინიმუმ 99,95% (მასობრივი ფრაქცია, იგივე ქვემოთ). თუმცა, LCD ინდუსტრიაში შუშის სუბსტრატის ზომის უწყვეტი გაუმჯობესებით, საჭიროა გაყვანილობის სიგრძის გახანგრძლივება და ხაზის სიგანე უფრო თხელი. ფილმის ერთგვაროვნებისა და გაყვანილობის ხარისხის უზრუნველსაყოფად, შესაბამისად უნდა გაიზარდოს მოლიბდენის სამიზნის სისუფთავე. ამიტომ, დაფქული შუშის სუბსტრატის ზომისა და გამოყენების გარემოს მიხედვით, მოლიბდენის სამიზნის სისუფთავე უნდა იყოს 99,99% - 99,999% ან უფრო მაღალი.

მოლიბდენის სამიზნე გამოიყენება როგორც კათოდური წყარო დაფხვრაში. მყარი მინარევები და ფორებში ჟანგბადი და წყლის ორთქლი დეპონირებული ფილმების დაბინძურების მთავარი წყაროა. გარდა ამისა, ელექტრონულ ინდუსტრიაში, იმის გამო, რომ ტუტე ლითონის იონები (Na, K) ადვილად ხდება მობილური იონები საიზოლაციო ფენაში, ორიგინალური მოწყობილობის მოქმედება მცირდება; ელემენტები, როგორიცაა ურანი (U) და ტიტანი (TI) გამოიყოფა α რენტგენი, რაც გამოიწვევს მოწყობილობების რბილ რღვევას; რკინის და ნიკელის იონები გამოიწვევს ინტერფეისის გაჟონვას და ჟანგბადის ელემენტების გაზრდას. ამიტომ, მოლიბდენის დაფხვნილის სამიზნის მომზადების პროცესში, ამ მინარევების ელემენტების მკაცრი კონტროლი საჭიროა, რათა მინიმუმამდე დაიყვანოს მათი შემცველობა სამიზნეში.

　　2. მარცვლის ზომა და ზომაში განაწილება

ზოგადად, მოლიბდენის დაფქვის სამიზნე არის პოლიკრისტალური სტრუქტურა და მარცვლის ზომა შეიძლება მერყეობდეს მიკრონიდან მილიმეტრამდე. ექსპერიმენტული შედეგები აჩვენებს, რომ წვრილი მარცვლეულის სამიზნის ჭურვის სიჩქარე უფრო სწრაფია, ვიდრე მსხვილმარცვლიანი სამიზნე; მცირე მარცვლის ზომის სხვაობის მქონე სამიზნისთვის, დეპონირებული ფირის სისქის განაწილება ასევე უფრო ერთგვაროვანია.

　　3. ბროლის ორიენტაცია

იმის გამო, რომ სამიზნე ატომები ადვილია უპირატესად დაფრქვევა ატომების უახლოესი განლაგების მიმართულებით ექვსკუთხა მიმართულების გასწვრივ, თხრილის ყველაზე მაღალი სიჩქარის მიღწევის მიზნით, ჭურვის სიჩქარე ხშირად იზრდება სამიზნის კრისტალური სტრუქტურის შეცვლით. სამიზნის ბროლის მიმართულება ასევე დიდ გავლენას ახდენს დაფქული ფირის სისქის ერთგვაროვნებაზე. აქედან გამომდინარე, ძალიან მნიშვნელოვანია, რომ მივიღოთ გარკვეული კრისტალზე ორიენტირებული სამიზნე სტრუქტურა ფილმის დაფქვის პროცესისთვის.

　　4. გამკვრივება

დაფარვის პროცესში, დაბალი სიმკვრივის სამიზნის დაბომბვისას, სამიზნის შიდა ფორებში არსებული გაზი უეცრად გამოიყოფა, რის შედეგადაც იფეთქება დიდი ზომის სამიზნე ნაწილაკები ან ნაწილაკები, ან ფირის მასალა იბომბება. მეორადი ელექტრონების მიერ ფირის წარმოქმნის შემდეგ, რაც იწვევს ნაწილაკების დაფრქვევას. ამ ნაწილაკების გამოჩენა შეამცირებს ფილმის ხარისხს. იმისათვის, რომ შემცირდეს ფორები სამიზნე სოლიდში და გააუმჯობესოს ფილმის შესრულება, ზოგადად, სამიზნე უნდა ჰქონდეს მაღალი სიმკვრივე. მოლიბდენის დაფქვის სამიზნისთვის მისი ფარდობითი სიმკვრივე 98%-ზე მეტი უნდა იყოს.

　　5. სამიზნისა და შასის შეკვრა

როგორც წესი, მოლიბდენის სამიზნე უნდა იყოს დაკავშირებული ჟანგბადის გარეშე სპილენძის (ან ალუმინის და სხვა მასალების) შასისთან დაფხვრის წინ, რათა სამიზნისა და შასის თერმული კონდუქტომეტრული იყოს კარგი დაფქვის პროცესში. შეკვრის შემდეგ უნდა ჩატარდეს ულტრაბგერითი ინსპექტირება, რათა დარწმუნდეს, რომ ამ ორის არაშემაკავშირებელი ფართობი 2%-ზე ნაკლებია, რათა დააკმაყოფილოს მაღალი სიმძლავრის გაჟონვის მოთხოვნები დაცემის გარეშე.