Industri semikonduktor asring ndeleng istilah kanggo bahan target, sing bisa dipérang dadi bahan wafer lan bahan kemasan. Bahan kemasan duwe alangan teknis sing sithik dibandhingake karo bahan manufaktur wafer. Proses produksi wafer utamane nglibatake 7 jinis bahan semikonduktor lan bahan kimia, kalebu siji jinis bahan target sputtering. Dadi apa materi target? Apa sebabe materi target penting banget? Dina iki kita bakal pirembagan bab apa materi target!
Apa materi target?
Cukup, materi target yaiku materi target sing dibombardir dening partikel sing diisi kanthi kacepetan dhuwur. Kanthi ngganti bahan target sing beda (kayata aluminium, tembaga, stainless steel, titanium, target nikel, lan liya-liyane), sistem film sing beda (kayata film paduan superhard, tahan nyandhang, anti karat, lan sapiturute) bisa dipikolehi.
Saiki, bahan target sputtering (kemurnian) bisa dipérang dadi:
1) Target logam (aluminium logam murni, titanium, tembaga, tantalum, lsp.)
2) Alloy target (nikel kromium alloy, nikel kobalt alloy, etc.)
3) Sasaran senyawa keramik (oksida, silisida, karbida, sulfida, lsp).
Miturut saklar sing beda-beda, bisa dipérang dadi: target dawa, target persegi, lan target bunder.
Miturut lapangan aplikasi sing beda-beda, bisa dipérang dadi: target chip semikonduktor, target tampilan panel datar, target sel surya, target panyimpenan informasi, target sing diowahi, target piranti elektronik, lan target liyane.
Kanthi ndeleng iki, sampeyan kudu ngerti babagan target sputtering kemurnian dhuwur, uga aluminium, titanium, tembaga, lan tantalum sing digunakake ing target logam. Ing manufaktur wafer semikonduktor, proses aluminium biasane cara utama kanggo nggawe wafer 200mm (8 inci) lan ngisor, lan bahan target sing digunakake utamane unsur aluminium lan titanium. Manufaktur wafer 300mm (12 inci), biasane nggunakake teknologi interkoneksi tembaga canggih, utamane nggunakake target tembaga lan tantalum.
Saben uwong kudu ngerti apa materi sing dituju. Sakabèhé, kanthi nambah sawetara aplikasi chip lan nambah dikarepake ing pasar chip, mesthi bakal ana Tambah ing dikarepake kanggo papat utama bahan logam film tipis ing industri, yaiku aluminium, titanium, tantalum, lan tembaga. Lan saiki, ora ana solusi liyane sing bisa ngganti papat bahan logam film tipis kasebut.
Wektu kirim: Jul-06-2023