Vacuum plating ing pilihan saka bahan target sputtering wis Jeksa Agung bisa ngetokake kanggo wong, ing saiki, minangka nutupi sputtering, utamané pangembangan skills lapisan sputtering magnetron, bisa ngandika kanggo informasi sembarang bisa kanggo target preparation materi saka film lancip. dening bombardment ion, amarga dening sputtering materi target ing proses lapisan kanggo jinis landasan, wis efek penting ing kualitas sputtering film, Mulane, syarat materi target luwih kenceng. Ing kene kita bakal sinau babagan peran target sputtering ing lapisan vakum bebarengan karo editor Relaksasi Beijing
一, Prinsip pemilihan lan klasifikasi materi target
Nalika milih materi target, saliyane nggunakake film kasebut dhewe kudu dipilih, masalah ing ngisor iki uga kudu dianggep:
Masalah 1. Miturut panggunaan lan syarat kinerja membran, perlu kanggo materi target kanggo nyukupi syarat teknis kemurnian, isi majalah, keseragaman komponen, akurasi mesin lan liya-liyane.
Masalah 2. Bahan target kudu nduweni kekuatan mekanik sing apik lan stabilitas kimia sawise mbentuk film;
Masalah 3. Iku perlu kanggo materi film kanggo generate film senyawa gampang karo gas reaksi minangka film sputtering reaktif;
Masalah 4. Sampeyan perlu kanggo nyetel target lan matriks dadi kuwat, yen ora, materi film karo adhesion apik karo matriks kudu diadopsi, pisanan sputter lapisan film ngisor lan banjur nyiyapake lapisan film dibutuhake;
Pitakonan 5. Ing premis kanggo nyukupi syarat kinerja film, sing luwih cilik bedane antarane koefisien ekspansi termal saka target lan matriks, luwih apik, supaya bisa nyuda pengaruh stres termal saka film sputtering;
Preparation saka sawetara target umum digunakake
(1) target cr
Kromium minangka bahan film sputtering ora mung gampang digabungake karo bahan dasar sing nduweni adhesi dhuwur, lan film Kromium lan oksida CrQ3, sifat mekanik, tahan asam lan stabilitas termal luwih apik.
Beijing Ruichi High-tech Co., Ltd. utamane melu: target zirkonium target titanium, target aluminium, target nikel, target kromium, target tungsten, target molibdenum, target tembaga, target silikon, target niobium, target tantalum, alloy titanium-silikon target, target paduan titanium-niobium, target paduan titanium-tungsten, target paduan titanium-zirkonium, paduan nikel-kromium target, target alloy silika-aluminium, target alloy nikel-vanadium, target alloy ternary kromium-aluminium-silikon，Ti al si bahan target alloy ternary, digunakake digunakake ing hiasan / lumahing hard lan lapisan fungsional, kaca arsitektur, tampilan flat / optik fotolistrik , panyimpenan optik, elektronik, printing lan profesi liyane.
Wektu kirim: Jun-02-2022