WCu スパッタ リング ターゲット高純度薄膜 Pvd コーティングのカスタムメイド

タングステン銅合金スパッタリングターゲットは、粉末冶金によって製造されます。銅の含有量は主に 10% ～ 50% の範囲です。熱伝導性、電気伝導性、高温強度、延性に優れています。 3000°C 以上などの非常に高い温度では、合金内の銅が液化して蒸発し、大量の熱を吸収して材料の表面温度が低下します。この種の材料は金属発汗材料とも呼ばれます。

タングステンと銅という2つの金属は相溶性がないため、タングステン銅合金はタングステンの低膨張性、耐摩耗性、耐食性と銅の高い電気伝導性、熱伝導性を併せ持ち、各種機械加工に適しています。タングステン - 銅合金は、タングステン - 銅比の製造およびサイズ加工に関するユーザーの要件に従って製造できます。タングステン銅合金は通常、粉末冶金プロセスを使用して、粉末バッチ混合、プレス成形、焼結溶浸を準備します。

リッチスペシャルマテリアルズはスパッタリングターゲットの製造を専門としており、お客様の仕様に応じてタングステン銅スパッタリング材料を生産することができます。詳細については、お問い合わせください。