TiSi スパッタ リング ターゲット高純度薄膜 Pvd コーティングのカスタムメイド
チタンシリコン
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チタンシリコンスパッタリングターゲットの説明
堆積プロセス中にチタンシリコンが窒素ガスと結合すると、超硬質窒化物コーティングが形成されます。存在するシリコン元素は高い耐酸化性を保証し、チタンは硬度を高めます。高温下でも優れた耐摩耗性を発揮します。 TiSiN コーティングで蒸着された切削工具は、特に乾式切削における高速かつハードなフライス加工に最適で、ニッケルやチタン基合金などの一部の超合金にも対応できます。
当社の代表的な TiSi ターゲットとその特性
Ti-15Siで% | Ti-20Siで% | Ti-25Siで% | Ti-30Siで% | |
純度(%) | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 |
密度(g/cm3) | 4.4 | 4.35 | 4.3 | 4.25 |
G雨 サイズ(μm) | 200/100 | 100 | 100 | 100 |
プロセス | VAR/HIP | ヒップ | ヒップ | ヒップ |
当社は金型切削工具用スパッタリングターゲットの製造において長年の経験を持っております。真空溶解によって製造された Ti-15Si at% は、均質な構造、高純度、低ガス含有量を持っています。その他、粉末冶金法で製造したTi-15Si at%、Ti-20Si at%、Ti-25Si at%も供給しております。当社の TiSi ターゲットは優れた機械的特性を備えているため、亀裂や構造破壊が発生しにくくなっています。
チタンシリコンスパッタリングターゲットのパッケージング
当社のチタン シリコン スパッタ ターゲットには、効率的な識別と品質管理を確保するために、外部に明確にタグとラベルが付けられています。保管中や輸送中に発生する可能性のある損傷を避けるために細心の注意を払っています。
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RSM のチタン シリコン スパッタリング ターゲットは、超高純度で均一です。これらは、さまざまな形式、純度、サイズ、価格で入手できます。当社は、金型コーティング、装飾、自動車部品、Low-E ガラス、半導体集積回路、薄膜などに使用される、優れた性能、最高の密度、可能な限り小さい平均粒子サイズを備えた高純度の薄膜コーティング材料の製造を専門としています。抵抗、グラフィック ディスプレイ、航空宇宙、磁気記録、タッチ スクリーン、薄膜太陽電池およびその他の物理蒸着 (PVD) アプリケーション。リストにないスパッタリングターゲットおよびその他の蒸着材料の現在の価格についてはお問い合わせください。