TiAlSi スパッタ リング ターゲット高純度薄膜 Pvd コーティングのカスタムメイド

チタン アルミニウム シリコン スパッタリング ターゲットは、粉末冶金法によって製造されます。
従来、自動車エンジンの製造に使用されてきたチタン・アルミニウム・シリコン合金。高温適性、耐摩耗性に優れています。 Ti-Al-Si 合金の適用により、エンジン部品の寿命が約 35% 大幅に延長される可能性があります。オートバイや自動車のホイールへの応用に関しては、A356 アルミニウムよりも優れた鋳造性、機械加工性、耐疲労性、衝撃靱性を示します。

急速凝固アルミニウム合金は、「メルトスピニング」と呼ばれる急速凝固プロセスによって得ることができ、これにより、従来のアルミニウム合金と比較して優れた特性が得られ、微細粒の微細構造と合金化の柔軟性が高まります。航空機産業において150～300℃で使用されるチタン基合金の代替となる可能性のある材料です。

TiAlSi ターゲットの堆積プロセス中に、TiAlSi/TiAlSiN は、ほとんどが立方晶構造を持つ高品質の結晶層の多層として個別に形成できます。これらの多層コーティングは、過酷な環境で使用される機器の寿命を延ばすためのハードコーティング用の材料となっています。