SiCr ペレット
SiCr ペレット
SiCrは高抵抗膜材料としてよく使用され、高抵抗、安定性、低い抵抗温度係数を特徴としています。クロムとシリコンは、Cr3Si 、Cr5Si3、CrSi 、CrSi2 などの多くのケイ化物相を生成する可能性があります。 CrSi膜の製造プロセス、組成、熱処理プロセスはその性能に大きく影響します。
リッチスペシャルマテリアルズはスパッタリングターゲットのメーカーであり、お客様の仕様に応じて高純度のシリコンクロムペレットを製造することができます。詳細については、お問い合わせください。