ターゲットは真空二重ビニール袋に梱包されています。当社では、金属であれセラミックであれ、ターゲットを真空パッケージで保管することを推奨します。特にボンディングターゲットは、ボンディング品質に影響を与えるボンディング層の酸化を避けるために真空で保管する必要があります。金属ターゲットのパッケージについては、次のように主張しています。最低限必要なのは、清潔なビニール袋に梱包することです。以下、北京リッチマットの著者が合金ターゲットの保管とメンテナンスのスキルについて共有します。
合金ターゲットのメンテナンススキルは以下の通りです。
スパッタリングプロセスにおける不潔なキャビティによる短絡やアークを回避するには、スパッタリングトラックの中心と両側のスパッタリングの蓄積を除去する必要があります。これは、ユーザーがスパッタリングの最大電力密度を継続するのにも役立ちます。
ステップ 1: アセトンに浸したフリースのない布で拭きます。
ステップ 2: ステップ 1 と同様にアルコールで洗浄します。
ステップ 3: 脱イオン水で洗浄します。脱イオン水で洗浄した後、ターゲットをオーブンに入れて 100 ℃で 30 分間乾燥させます。酸化物およびセラミックターゲットは「フランネルクロス」で洗浄します。
ステップ 4: 埃の多い領域を除去した後、高圧および低水分ガスのアルゴンを使用してターゲットをフラッシュし、スパッタリング システム内でアークを形成する可能性のある不純物粒子をすべて除去します。
投稿時間: 2022 年 6 月 7 日