コーティングされたターゲットとは

真空マグネトロンスパッタリングコーティングは現在、工業用コーティング生産において最も重要な技術の 1 つとなっています。しかし、コーティング対象の関連内容について疑問を持っている友人もまだたくさんいます。さあ、専門家をお招きしましょうRSM スパッタリング ターゲットについて、スパッタリング コーティング ターゲットに関する一般常識を共有します。

コーティングされたターゲットとは何ですか?

コーティングターゲットは、マグネトロンスパッタリング、マルチアークイオンプレーティング、またはその他のタイプのコーティングシステムによって、適切なプロセス条件下で基板上にスパッタリングされるさまざまな機能膜のスパッタリングソースです。集積回路と平面ディスプレイはコーティングターゲットの主な応用分野です。同社のスパッタリング製品は主に電極配線膜、キャパシタ電極膜、コンタクト膜、光ディスクマスク、バリア膜、抵抗膜など。

中国は薄膜スパッタリングターゲットの世界最大の需要地であり、国内のターゲット材料は急速に発展している。現在、半導体用スパッタリングターゲットを生産できる国内企業は主に寧波江峰電子材料有限公司（以下「江峰電子」）と友燕宜進新材料有限公司である。一部の製品の性能指標は以下の通りである。江豊電子の製品は国際的な同業者のレベルに近く、製品は一括して世界の集積回路製造の主流企業に参入します。

国内コーティングターゲットメーカーの一つとして、北京瑞一ハイテク有限公司は主にフラットパネルディスプレイ用ターゲット、コーティングガラス（主に建築用ガラス、自動車用ガラス、光学フィルム用ガラスなど）ターゲット、薄膜ターゲットを生産しています。太陽エネルギーターゲット、装飾コーティングターゲット、抵抗ターゲット、自動車ランプコーティングターゲットなど、業界から高く評価されています。