チタンアルミニウム合金ターゲットの製造方法は何ですか?

金属ターゲットとは、高速でエネルギーを伝達し、衝突する粒子の対象となる材料を指します。さらに、異なるターゲット材料 (例: アルミニウム、銅、ステンレス鋼、チタン、ニッケルターゲットなど) を交換することにより、異なる膜システム (例: 超硬、耐摩耗性、耐食性合金膜など) を使用することができます。得られた。時代の発展に伴い、チタンアルミニウム合金ターゲットを歓迎する新しいメンバーとして、多くの新材料ターゲットが大きなファミリーに登場しました。

チタンアルミニウム合金ターゲットとは、チタンアルミニウム合金を素材とするターゲットである。一般に銀白色で、強度が高く、融点が高いという利点があります。それでは、チタンアルミニウム合金ターゲットの実践とは何でしょうか？

これまでのところ、大手国際メーカーはチタン - アルミニウム合金ターゲットの製造にこれら 2 つの方法を採用しています。 1 つは、鋳造法を使用してインゴットを製造し、その後、鋳造プロセス中にターゲットを製造する方法です。もう 1 つは、スプレー成形されたチタン - アルミニウム合金ターゲットで作られています。

この方法で有名な鋳造・鋳造法は、アルミニウム合金スパッタリングターゲットの製造工程において、頻繁に合金を添加する重要な工程のため、アルミニウム合金ターゲット材に偏析が生じ、得られる皮膜の品質が低下してしまうためです。スパッタリングは高くありません。 、スパッタリング ターゲットの表面には小さな粒子が発生しやすく、膜特性の均一性に影響を与えます。第２の溶射成形法により製造されたチタン−アルミニウム合金ターゲットは、このような事態を防止することができるが、ターゲットの製造コストが大幅に上昇してしまう。

特に、鋳造が困難な物品を作製する場合には、熱間均圧ターゲットを使用する必要があり、熱間均圧を使用するためコストが増加する。

チタン - アルミニウム合金ターゲットの上記 2 つの従来の方法に加えて、今日では簡単で安価な方法が導入されています。スプレーパウダーによるチタンアルミニウム合金ターゲットの製造。

以下では、北京瑞一の編集者がチタンアルミニウム合金ターゲットの製造方法を紹介します。

1. 第一原則

この方法の主な原理は、エアロゾル法を用いてターゲットの原料粉末を合金組成比で製造することである。次に、合金粉末をふるいにかけて、適切な粉末粒子サイズを得る。得られた粉末を真空ホットプレスしてターゲットを形成する。

2. 主な利点

この製造方法の利点は、アルミニウムやクロムなどのさまざまなアルミニウム合金ターゲットを製造できることです。アルミニウム、シリコン、銅、アルミニウム、チタンなど。第二に、このアプローチは材料の偏析や微粒子欠陥を防ぐことができ、その結果、高品質のチタン - アルミニウム合金ターゲットをより迅速かつ経済的に製造できます。

3. 導入プロセス

この方法の正しい実装プロセスは、まずアルミニウム合金ターゲットを作成するための金属原料を提供することです。これらの金属原料は、金属溶液中で溶解されます。次に、金属溶液をエアロゾルにより金属粉末にする。次に、真空ホットプレスにより金属粉末ターゲットを成形し、保護ガスとして不活性ガスを使用する。