スパッタリングチタン合金ターゲットとチタン金属はチタンで構成されているため、情報はほぼ同じですが、両者の主な違いは、スパッタリングチタン合金ターゲットはいくつかの方法でチタン金属から作られ、チタンは自然界に存在することです。チタン鉱石。チタン合金ターゲットは多くの職業カテゴリーで広く使用できます。北京リッチマットの著者は、状況の使用の観点からいくつかの一般的なチタン合金ターゲットを要約し、詳細に紹介しました。
一、集積回路用Tiターゲット
チタン合金ターゲットをスパッタリングするための要件は、非集積回路と集積回路とでは異なります。一般に、集積回路では、高純度、より小さな粒径、より正確なスケール精度など、コーティング データに対してより高い要件が求められます。集積回路のチタン ターゲットの純度は 99.995% 以上で、非集積回路で使用されるものよりも高くなっています。これは、チタンターゲットの要件が用途によって大きく異なることを示しています。
二、フラットパネルディスプレイ用Tiターゲット
フラットパネルディスプレイに使用されるチタン合金ターゲットには、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイなどがあります。フラットディスプレイの薄膜はスパッタリング形成法で、フラットパネル用の主な金属スパッタリングターゲットはAl、Cu、Ti、Moなどです。フラットパネルディスプレイ用のチタン合金ターゲットの純度は、通常 99.9% 以上です。
３、装飾材料用Tiターゲット
高純度チタン合金ターゲット材は耐空気腐食性に優れ、大気中で長期間使用しても変色せず、チタン本来の色を保ち、人が接触してもアレルギーを起こさないなど優れた特性を持っています。そのため、高純度チタンは装飾材料としても利用でき、近年ではブレスレットや時計、メガネなどの装飾品においてもチタン純度は5Nレベルに達しています。
4、超高真空排気システム用Tiターゲット
化学的に活性な金属であるチタンは、高温で多くの元素や化合物と反応することができます。高純度チタン合金ターゲットは活性ガス（O2、N2、CO、CO2、650℃以上の水蒸気など）に対して強力な吸着能力を持ち、ポンプ壁に蒸発したTi膜が高い吸着性能を持った表面を形成します。 。この特性により、Tiは超高真空ガス抽出システムのゲッターとして広く使用されています。ポンプやスパッタリングイオンポンプなどの改良に使用すると、スパッタリングイオンポンプの到達到達圧力を10-9PAまで低くすることができます。
投稿日時: 2022 年 4 月 25 日