炭化タングステンスパッタリングターゲット

炭化タングステン（化学式：WC）は、タングステン原子と炭素原子を等量含む化合物（正確には炭化物）です。最も基本的な形状では、炭化タングステンは細かい灰色の粉末ですが、産業用機械、切削工具、研磨剤、徹甲弾、その他の工具や器具、宝飾品に使用する形状にプレスして成形することができます。炭化タングステン (WC) は、DLC コーティング (ダイヤモンドライク カーボン) の製造に使用されます。

炭化タングステン スパッタリング ターゲットの場合、これらの材料には接合が推奨されます。多くの材料は、脆さや熱伝導率の低さなど、スパッタリングに適さない特性を持っています。この材料には、特別なランプアップおよびランプダウン手順が必要な場合があります。他の素材ではこのプロセスは必要ない場合があります。熱伝導率が低いターゲットは熱衝撃を受けやすくなります。

アプリケーション

• 化学蒸着 (CVD)

• 物理蒸着 (PVD)

• 半導体

• 光学式

製造工程

• 製造 – コールドプレス – 焼結、エラストマーをバッキングプレートに接着

• 洗浄と最終梱包、真空中での使用のために洗浄済み、

リッチ特殊マテリアル株式会社長年にわたりスパッタリングターゲットと合金に特化し、高品質で信頼性の高い製品とソリューションを提供します。