チタンターゲット

当社が提供できる製品の純度：99.5%、99.7%、99.8%、99.9%、99.95%、99.99%、99.995%

平面ターゲット、円筒ターゲット、円弧ターゲット、不定形ターゲットなどの形状・サイズをご用意しております。

チタンの原子番号は 22、原子量は 47.867 です。軽量、高強度、金属光沢、湿潤塩素ガス腐食に対する耐性を特徴とする銀白色の遷移金属です。 α型チタンは六方晶系結晶系、β型チタンは立方晶系結晶系です。転移温度は882.5℃です。融点（1660±10）℃、沸点3287℃、密度4.506g/cm3。希酸に溶けるが、冷水と熱水には溶けない。海水腐食に強い。チタンは 1950 年代に開発された重要な構造金属です。チタン合金は、低密度、高比強度、良好な耐食性、低熱伝導率、非毒性および非磁性、溶接性、良好な生体適合性、および強力な表面装飾という特徴を備えています。航空、航空宇宙、化学、石油、電力、医療、建設、スポーツ用品などの分野で広く使用されています。

ターゲット材料の純度は薄膜の性能に大きな影響を与え、ターゲット材料は通常多結晶構造です。同じターゲット材料の場合、粒子の小さなターゲットのスパッタリング速度は、粒子の粗いターゲットのスパッタリング速度よりも速くなります。ターゲットスパッタリングにより堆積される薄膜の膜厚分布は、粒径の差が小さく（均一分布）、より均一になります。

RSM が供給するチタン ターゲットの純度は最大 99.995% で、製造プロセスには溶解と熱間変形が含まれます。最大長さは4000mm、最大幅は350mmです。粒度が細かく、分布が均一で、純度が高く、介在物が少なく、高純度です。蒸着されたTiN膜は、密着性が良く、均一な塗膜が得られ、発色が鮮やかなため、加飾、金型、半導体などの分野で使用されています。