TiAlSiスパッタリングターゲット

チタン・アルミニウム・シリコン合金ターゲット材は、高純度のチタン、アルミニウム、シリコン原料を細かく粉砕・混合して得られます。

チタン・アルミニウム・シリコン複合合金は自動車エンジン製造業界で使用されており、結晶構造の微細化に優れた効果があり、高い耐熱性と耐摩耗性を備えています。この合金を使用したエンジンのピストン、シリンダーブロック、シリンダーヘッドなどの部品の寿命は、通常の合金に比べて約35％長くなっています。オートバイおよび自動車のホイールハブ製造に関して、その鋳造性能、機械加工性能、耐疲労性、耐衝撃性はすべて、米国製 A356 アルミニウム合金ホイールの性能に達し、それを超えています。

チタンアルミニウムシリコン複合合金を使用して得られる急冷凝固合金は、従来のプロセスで製造された合金よりも大幅に優れた性能を有し、150〜300℃の範囲で使用されるチタンベースの合金を置き換える可能性があり、航空宇宙分野で広く使用できます。製造業。さらに、土木建築および装飾材料産業の発展に伴い、この合金の応用の可能性はさらに大きくなっています。

TiAlSi/TiAlSiN多層交互コーティングは、TiAlSiターゲット材料を窒素ガススパッタリングで反応させることによって生成されます。 TiAlSi合金陰極ターゲット材料は、導入する窒素ガスを変えることでコーティングの組成を変えるために使用され、それにより多層交互コーティングを調製し、コーティングの産業上の利用可能性を向上させます。 TiAlSi合金の硬度は低く、TiAlSiNコーティングの硬度は高いため、この方法で作成された軟硬交互コーティングは、コーティング応力を効果的に軽減し、コーティングの可塑性と靭性を向上させ、コーティングの耐摩耗性を向上させ、コーティングの耐摩耗性を向上させるのに非常に重要です。工具コーティングの耐用年数。対象材にイットリウムやセリウムなどの希土類元素を微量添加すると、工具の耐酸化性が大幅に向上し、高速ドライ切削が可能になります。

リッチ スペシャル マテリアルズ株式会社は、高品質のターゲット材料と合金を皆様にご提供することに専念しています。