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真空スパッタリング塗膜層の剥がれの原因

真空コーティング層が剥がれる原因については、使用中に必ず発生する問題です。多くのお客様がこれらの問題に遭遇します。RSM(リッチスペシャルマテリアル株式会社)真空コーティング層が剥がれる原因について説明します。

https://www.rsmtarget.com/

1.ターゲットの表面清浄度が十分でない場合は、イオン源を洗浄する際のアルゴンの量と使用時間を増やす必要があります。

2.脱脂不足や脱脂の場合はめっき前処理を強化する必要があります。

3.真空室の清掃が不十分であるため、真空室を清掃する必要があります。ターゲットをターゲットにして解体するプロセスでは、磁気制御源が高い清浄度を持っていることを保証するために、手や不潔な物体や磁気制御源に直接触れることは厳しく禁止されていることに注意してください。

4.クランプが十分に清掃されていない場合は、クランプを清掃する必要があります

5.真空スパッタリングの場合、コーティング前に真のキャビティの密閉性を繰り返しテストする必要があります。

6.Spスパッタリングプロセスの設計が適切ではないため、スパッタリングプロセスを改善する必要があります。

7.ターゲット物質の中毒、新しいターゲット物質と交換する

上記は、真空コーティング層が剥がれるいくつかの理由について説明しました。理解できない場合は、ご相談ください。株式会社リッチ特殊マテリアルスタッフ一同、より迅速かつ正確なソリューションをお客様にご提供いたします。RSMのプロのターゲット材料サプライヤーはあなたの最良の選択です!


投稿日時: 2022 年 6 月 14 日