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Yスパッタリングターゲットの応用例

イットリウム ターゲット材料は複数の分野で広範囲に応用されており、主な応用分野は次のとおりです。

 

1. 半導体材料: 半導体産業では、トランジスタや集積回路などの半導体材料の特定の層や電子部品を製造するためにイットリウム ターゲットが使用されます。

 

2. 光学コーティング: 光学の分野では、イットリウムターゲットを使用して、レーザーや光学フィルターなどの光学デバイスの製造において重要な役割を果たす高屈折率および低散乱率の光学コーティングを調製できます。

 

3. 薄膜堆積:イットリウムターゲットは薄膜堆積技術において重要な役割を果たしており、その高純度、優れた安定性、および特定の物理的および化学的特性により、さまざまな薄膜材料の調製に理想的な選択肢となります。これらの薄膜材料は、光学、エレクトロニクス、磁気などの分野で広範囲に応用されています。

 

4. 医療分野: イットリウムターゲットは、画像診断 (CT スキャンなど) のための X 線およびガンマ線源として機能するなど、放射線学において重要な用途を持っています。

 

5. 原子力産業: 原子炉では、核反応の速度と安定性を制御するための優れた中性子吸収能力により、イットリウムターゲットが制御棒材料として使用されます。

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投稿日時: 2024 年 6 月 20 日