高純度タングステンターゲットの技術と応用

高融点タングステン金属およびタングステン合金には、高温安定性、電子移動に対する高い耐性、および電子放出係数が高いという利点があります。高純度タングステンおよびタングステン合金ターゲットは、主に半導体集積回路のゲート電極、接続配線、拡散バリア層の作製に使用されます。材料の純度、不純物元素含有量、密度、粒子サイズ、均一な粒子構造に関して非常に高い要件が求められます。高純度タングステンターゲットの調製に影響を与える要因を見てみましょうby Rich特殊マテリアル株式会社.

I. 焼結温度の影響

タングステンターゲット胚の形成プロセスは、通常、冷間静水圧によって行われます。タングステン粒子は焼結中に成長します。タングステン粒子の成長により結晶境界間のギャップが埋められ、タングステンターゲットの密度が増加します。焼結時間が増加すると、タングステンターゲットの密度の増加は徐々に遅くなります。主な理由は、タングステンターゲット材料の品質が数回の焼結プロセスの後でもあまり変化していないことです。結晶境界の空隙のほとんどはタングステン結晶によって埋められるため、各焼結プロセス後のタングステンターゲットの全体的なサイズ変化率は非常に小さく、その結果、タングステンターゲットの密度を増加させるためのスペースが限られます。焼結が進むにつれて、大きなタングステン粒子が空隙に充填され、その結果、より小さなサイズでより高密度のターゲットが生成されます。

2. 効果h食べる保存時間

同じ焼結温度では、焼結時間が増加するにつれてタングステンターゲット材料の緻密性が向上します。焼結時間の増加に伴ってタングステンの粒径は増加し、焼結時間の延長に伴って粒径成長率は徐々に遅くなります。これは、焼結時間を長くするとタングステン ターゲットの性能も向上する可能性があることを示しています。

3. ターゲット P 上でのローリングの効果パフォーマンス

タングステンターゲット材の密度を向上させ、タングステンターゲット材の加工組織を得るためには、タングステンターゲット材の中温圧延を再結晶温度以下で行う必要がある。ターゲットブランクの圧延温度が高いと、ターゲットブランクの繊維構造は太くなり、ターゲットブランクの繊維構造は細かくなります。熱間圧延歩留まりが95%を超える場合。温間圧延の加工率が高いほど、焼結原粒子や圧延温度の違いによる繊維構造の違いがなくなり、より均一な繊維構造がターゲット内部に形成されるため、ターゲットの性能は向上します。