スパッタリングターゲット – ニッケルクロムターゲット

ターゲットは、薄膜を作製するための重要な基礎材料です。現在、一般的に使用されているターゲットの準備および加工方法には、主に粉末冶金技術と伝統的な合金製錬技術が含まれていますが、当社ではより技術的で比較的新しい真空製錬技術を採用しています。

ニッケルクロムターゲット材料の準備は、顧客のさまざまな純度要件に応じて、原料としてさまざまな純度のニッケルとクロムを選択し、真空誘導溶解炉を使用して製錬します。製錬プロセスには通常、製錬室内での真空抽出、アルゴンガス洗浄炉、真空抽出、不活性ガス保護、合金の溶解、精錬、鋳造、冷却および型抜きが含まれます。

鋳造されたインゴットの組成を検査し、要件を満たすインゴットを次の工程で加工します。次に、ニッケルクロムインゴットを鍛造、圧延してより均一な圧延板を作製し、その後、顧客の要求に応じて圧延板を機械加工して、顧客の要求を満たすニッケルクロムターゲットを得る。