リッチスペシャルマテリアルズ株式会社が伝えるターゲット材料の性能要件とは

さまざまな専門分野でターゲット材料が広く使用されているため、ターゲット材料に対する需要はますます高まっています。次の 私達はします 簡単に紹介します あなた ターゲット、ホップの主な機能要件は何ですかしている あなたを助けるために。

純度: ターゲットの純度はフィルムの機能に大きな影響を与えるため、純度はターゲットの主要な機能指標の 1 つです。しかし実際には、ターゲット材料の純度は同じではありません。たとえば、マイクロエレクトロニクス分野の急速な成長に伴い、シリコンウェハのサイズは 6 インチ、8 インチから 12 インチへと発展し、配線幅は 0.5 μm から 0.25 μm、0.18 μm、さらには 0.13 μm まで減少しました。目標純度の 99.995% が 0.35UMIC の技術要件を満たすことができます。 0.18um ラインの準備には、99.999%、さらには 99.9999% の純度のターゲット材料が必要です。

密度：ターゲット固体中の気孔率を低減し、スパッタリング膜の機能を向上させるために、通常、ターゲットは高密度であることが要求される。ターゲット密度は、スパッタリング速度だけでなく、膜の電気的および光学的特性にも影響します。ターゲット密度が高いほど膜の機能は向上します。また、ターゲット材料の密度と強度を高めることで、スパッタリング時の熱応力に耐えられるようにしました。密度も対象物質の重要な機能指標の一つです。

　　不純物含有量: ターゲット固体中の不純物、および細孔内の酸素と水蒸気は、堆積した膜の主な汚染源です。異なる目的の異なるターゲット材料には、異なる不純物含有量に対する異なる要件があります。たとえば、半導体産業で使用される純アルミニウムおよびアルミニウム合金ターゲットには、アルカリ金属含有量と放射性元素含有量に関して特別な要件があります。