ニオブターゲット表面に溝ができる理由

ニオブターゲット材料は、主に光学コーティング、表面工学材料コーティング、および耐熱性、耐食性、高導電性などのコーティング産業で使用されます。光学コーティングの分野では、主に眼科用光学製品、レンズ、精密光学機器、大面積コーティング、3Dコーティングなどに応用されています。

ニオブターゲット材料は通常ベアターゲットと呼ばれます。まず銅バックターゲットに溶接され、次にスパッタリングされて基板材料上に酸化物の形でニオブ原子が堆積され、スパッタリングコーティングが実現されます。ニオブターゲットの技術と応用が継続的に深化および拡大するにつれて、ニオブターゲットの微細構造の均一性に対する要件が増加しており、これは主に粒径の微細化、明らかな組織配向のなさ、および化学純度の向上という 3 つの側面に現れています。

ターゲット全体にわたる微細構造と特性の均一な分布は、ニオブターゲット材料のスパッタリング性能を確保するために非常に重要です。工業生産で遭遇するニオブターゲットの表面は通常、規則的なパターンを示しており、これがターゲットのスパッタリング性能に大きな影響を与えます。どうすればターゲットの稼働率を向上させることができるでしょうか?

研究の結果、不純物含有量（目標純度）が純度に影響を与える重要な要素であることが分かりました。原料の化学組成が不均一であり、不純物が多く含まれています。その後の圧延加工により、ニオブターゲット材の表面に規則的なパターンが形成されます。原料成分の不均一な分布を排除し、不純物を濃縮することで、ニオブターゲットの表面に規則的なパターンが形成されることを回避できます。ターゲット材料に対する粒子サイズと構造組成の影響は、ほとんど無視できます。