フラットパネルディスプレイ業界で使用される金属スパッタリングターゲットの市場需要

薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ パネルは現在主流のフラット パネル ディスプレイ技術であり、金属スパッタリング ターゲットは製造プロセスにおいて最も重要な材料の 1 つです。現在、中国の主流の液晶パネル生産ラインで使用される金属スパッタリングターゲットの需要は、アルミニウム、銅、モリブデン、モリブデンニオブ合金の4種類のターゲットが最も多い。フラットディスプレイ業界における金属スパッタリングターゲットの市場需要についてご紹介します。

1、アルミターゲット

現在、国内の液晶ディスプレイ業界で使用されているアルミニウムターゲットは主に日本企業が占めている。

2、銅ターゲット

スパッタリング技術の発展傾向としては、銅ターゲットの需要の割合が徐々に高まっています。また、近年、国内の液晶ディスプレイ業界の市場規模は拡大を続けております。したがって、フラットパネルディスプレイ業界における銅ターゲットの需要は引き続き増加傾向を示すでしょう。

3、広範囲モリブデンターゲット

外国企業に関して：Panshi や Shitaike などの外国企業は、国内の幅広いモリブデン対象市場を基本的に独占しています。国産：2018年末現在、国産の広範囲モリブデンターゲットが液晶表示パネルの生産に適用されています。

4、モリブデンニオブ10合金ターゲット

モリブデンニオブ10合金は、薄膜トランジスタの拡散バリア層におけるモリブデンアルミニウムモリブデンの重要な代替材料として、有望な市場需要の見通しを持っています。しかし、モリブデン原子とニオブ原子の相互拡散係数には大きな差があるため、高温焼結後にニオブ粒子の位置に大きな気孔が形成され、焼結密度を向上させることが困難である。さらに、モリブデンおよびニオブ原子が完全に拡散した後に強い固溶強化が形成され、転がり性能の低下につながります。しかし、複数の実験と画期的な進歩を経て、2017 年に酸素含有量が 1000 × A 未満、密度 99.3% の Mo Nb 合金ターゲット ビレットの展開に成功しました。