スパッタリングターゲットのメンテナンス知識

多くの友人からターゲットのメンテナンスに関する質問が多かれ少なかれありますが、最近ではターゲットのメンテナンスに関する問題について相談する顧客も多くなっています。RSM の編集者にスパッタリング ターゲットのメンテナンスに関する知識を共有してもらいましょう。

　　スパッタターゲットはどのようにメンテナンスすればよいですか?

　　1、目標メンテナンス

スパッタリングプロセスの汚れたキャビティによって引き起こされる短絡やアーク発生を回避するには、スパッタリングト​​ラックの中央と両側に溜まったスパッタを定期的に除去する必要があります。これは、ユーザーが高出力密度で継続的にスパッタリングするのにも役立ちます。

　　2、ターゲットストレージ

ターゲット (金属またはセラミック) を真空パッケージで保管することをお勧めします。特に、フィッティング層の酸化がフィッティングの品質に影響を与えるのを防ぐために、フィッティングターゲットは真空で保管する必要があります。金属ターゲットの梱包については、少なくとも清潔なビニール袋に梱包することをお勧めします。

　　3、ターゲットの洗浄

最初のステップは、アセトンに浸した糸くずの出ない柔らかい布で拭きます。

2 番目のステップは、最初のステップと同様に、アルコールで洗浄します。

ステップ 3: 脱イオン水で洗浄します。純水で洗浄した後、オーブンに入れ、100℃で30分間乾燥させます。酸化物およびセラミックターゲットの清掃には「糸くずの出ない布」を使用することをお勧めします。

4 番目のステップでは、ターゲットを高圧低湿度のアルゴンで洗浄して、スパッタリング システム内でアークを引き起こす可能性のある不純な粒子を除去します。

　　4、短絡と気密性のチェック

ターゲットを取り付けた後、カソード全体の短絡と気密性をチェックする必要があります。カソードがショートしているかどうかは、抵抗計やメガーを使用して判断することをお勧めします。陰極に短絡がないことを確認した後、漏水検査を実施し、陰極に水を導入して漏水の有無を判定することができる。

　　5、梱包と輸送

すべてのターゲットは防湿剤とともに真空密封されたビニール袋に梱包されています。外側のパッケージは通常、輸送および保管中のターゲットとバックプレーンを損傷から保護するために周囲に衝突防止層を備えた木箱です。