FeCrAl合金スパッタリングターゲット+Cuバックプレーン

鉄クロムアルミニウム合金ターゲットの基本紹介:

鉄クロムアルミニウム合金ターゲットは、鉄、クロム、アルミニウムから構成される合金材料の一種です。このうち、鉄は卑金属、クロムは合金強化元素、アルミニウムは安定化の役割を果たします。高強度、高温安定性、耐食性などの優れた特性を備えています。

鉄クロムアルミニウム合金の特徴:

1.高強度：フェロクロムアルミニウム合金は高強度を備えており、その強度は普通鋼よりも高く、エンジニアリングニーズのさまざまな高強度要件を満たすことができます。
2.高温安定性：フェロクロムアルミニウム合金は高温でも優れた強度と安定性を備えており、高温環境での機器や工具に使用できます。
3.耐食性：フェロクロムアルミニウム合金の表面を処理した後、腐食によって引き起こされる疲労、亀裂、その他の問題を防ぐことができ、海洋、化学、その他の環境に適しています。
4.良好な機械加工性：Fe-Crアルミニウム合金は良好な機械加工性を備えており、鋳造、鍛造、プラスチック押出などのプロセスに適用できます。

鉄クロムアルミニウム合金の応用:

FeCrAl合金はその優れた物理的および化学的特性により、航空、航空宇宙、自動車、化学およびその他の分野で広く使用されています。その適用範囲には、次のようないくつかの側面が含まれます。

1. 航空宇宙分野：フェロクロムアルミニウム合金は、その高強度、高温安定性、耐食性などの特性により、航空宇宙分野の製造およびメンテナンスで広く使用されています。

2.自動車分野：フェロクロムアルミニウム合金は、自動車のエンジン、ブレーキ、シェル、シャーシおよびその他の部品の製造に広く使用されています。

3.化学工業：フェロクロムアルミニウム合金は耐食性にも優れており、酸、アルカリなどの腐食に耐えることができるため、化学機器の製造に広く使用されています。

なぜスパッタリングターゲットをバックプレーンに結合する必要があるのでしょうか?

1.熱放散: スパッタリングプロセス中、ターゲットは大量のエネルギーを吸収し、温度が上昇します。熱伝導率の高いバックプレーン（銅バックプレーンなど）をバインディングすると、ターゲットから発生した熱を効果的に伝導し、ターゲットの安定性と均一なスパッタリングを維持できます。

2.機械的サポート: ターゲットは使用中に継続的な物理的衝撃にさらされますが、頑丈なバックプレーンに結合することで、ターゲットの亀裂や変形を防ぐのに十分な機械的サポートが提供されます。

3.耐用年数の向上：バックプレーンの効果的な放熱と機械的サポートにより、ターゲットの損失と変形が軽減され、ターゲットの耐用年数が延長されます。

4.スパッタリング効率の向上：バックプレーンにより、ターゲットがスパッタリング電源のエネルギーをより均一に受け取ることができ、より効率的で均一な成膜が実現します。

 バックプレーンをバインドする方法？

1. バインド前にターゲットとバックプレーンの表面を前処理します。

2. ターゲットとバックプレーンをろう付けテーブルに置き、結合温度まで加熱します。

3.ターゲットとバックプレーンを金属化する

4.ターゲットとバックプレーンを接着します。

5.冷却