高純度チタンターゲットの応用

周知のとおり、純度はターゲットの主要なパフォーマンス指標の 1 つです。実際の使用においては、ターゲットの純度要件も異なります。高純度チタンは一般の工業用純チタンに比べて高価であり、用途も狭い。主に一部の特殊産業の用途に対応するために使用されます。では、高純度チタンターゲットの主な用途は何でしょうか?それでは、フォローしてみましょう の専門家RSM.

高純度チタンターゲットの使用には主に以下の点が含まれます。

1. 生体材料

チタンは非磁性金属であり、強い磁場でも磁化されず、人体との適合性が高く、毒性の副作用がなく、人体埋め込み型機器の製造に使用できます。一般に医療用チタン材料は高純度チタンには至りませんが、チタン中の不純物の溶解を考慮すると、インプラント用チタンはできるだけ純度の高いものが求められます。文献には、高純度チタンワイヤーが生体結合材料として使用できることが記載されています。また、カテーテル埋め込み型チタン注射針も高純度チタンのレベルに達しました。

2. 装飾材料

高純度チタンは耐大気耐食性に優れ、大気中で長期間使用しても変色せず、チタン本来の色を保ちます。したがって、高純度チタンは建築装飾材としても使用できます。また、近年では、耐食性、変色がなく、光沢が長く持続し、劣化しにくいという利点を生かして、一部の高級装飾品やブレスレット、時計、メガネフレームなどのウェアラブル品にチタンが使用されています。人間の皮膚。一部の装飾品に使用されているチタンの純度は5Nレベルに達しています。

3. 吸気材料

チタンは非常に活性な化学的性質を持つ金属であり、高温で多くの元素や化合物と反応する可能性があります。高純度チタンは活性ガス（例えば、、、CO、、 水蒸気は650度以上℃）、ポンプ壁面に蒸着したTi膜により吸着能力の高い表面を形成することができます。この特性により、Ti は超高真空排気システムのゲッターとして広く使用されています。サブリメーション ポンプ、スパッタリング イオン ポンプなどで使用される場合、スパッタリング イオン ポンプの到達到達圧力は PA と同じくらい低くなります。

4. 電子情報資料

近年、半導体技術、情報技術などのハイテク分野の急速な発展に伴い、スパッタリングターゲット、集積回路、DRAM、フラットパネルディスプレイなどに高純度チタンの使用が増えており、チタンの純度が求められています。ますます。半導体超ＬＳＩ産業では、チタンシリコン化合物、窒化チタン化合物、タングステンチタン化合物などが拡散バリアや制御電極の配線材料として使用されている。これらの材料はスパッタリング法で作られており、スパッタリング法で使用されるチタンターゲットは高純度が要求され、特にアルカリ金属元素や放射性元素の含有量が非常に少ないことが求められます。

高純度チタンは上記の応用分野以外にも特殊合金や機能性材料としても使用されています。