CuMo スパッタ リング ターゲット高純度薄膜 Pvd コーティングのカスタムメイド
銅モリブデン
銅モリブデンのスパッタリングターゲットは、浸透焼結法によって製造されます。モリブデン粉末を焼結して半製品に形成し、その後のマイクロ波支援水溶液戦略と組み合わせます。銅モリブデン合金は、優れた物理的および機械的特性、つまり満足のいく電気伝導性と熱伝導性、低く調整可能な熱膨張係数、耐摩耗性、および高温強度を備えています。
組成(%) | Cu | Mo | 不純物(%) |
MoCu10 | 10±2 | バランス | ≤0.1 |
MoCu15 | 15±3 | バランス | ≤0.1 |
MoCu20 | 20±3 | バランス | ≤0.1 |
MoCu25 | 25±3 | バランス | ≤0.1 |
MoCu40 | 40±5 | バランス | ≤0.1 |
リッチスペシャルマテリアルズはスパッタリングターゲットの製造を専門としており、お客様の仕様に応じて銅モリブデンスパッタリング材料を生産することができます。詳細については、お問い合わせください。