AlTa スパッタ リング ターゲット高純度薄膜 PVD コーティングのカスタムメイド
アルミニウム-タンタル
ターゲットは、アルミニウムとタンタルの粉末を混合するか、真空溶解してから完全な密度まで圧縮することによって準備されます。このように圧縮された材料は、必要に応じて焼結され、その後、所望の目標形状に形成される。
アルミニウム タンタル スパッタリング ターゲットは、高純度で均質な微細構造と優れた導電性を備えています。フラットパネルディスプレイ産業の薄膜の形成に広く使用されています。アルミニウム タンタルを添加して高性能チタン合金を製造し、高温適合性を向上させることもできます。
Al-Ta合金の不純物含有量
| 構成 | コンテンツ（%） | ||||
| Ta | Fe | Si | C | O | |
| アルタ60 | 55.0～65.0 | ≤0.05 | ≤0.02 | ≤0.01 | ≤0.05 |
| アルタ70 | 65.0～75.0 | ≤0.05 | ≤0.02 | ≤0.01 | ≤0.05 |
リッチスペシャルマテリアルズはスパッタリングターゲットの製造を専門としており、お客様の仕様に応じてアルミニウムタンタルスパッタリング材料を生産することができます。当社の製品は、優れた機械的特性、均質な構造、偏析、細孔、亀裂のない研磨された表面を特徴としています。詳細については、お問い合わせください。
