מהן המטרות המקרטעות? למה המטרה כל כך חשובה?

תעשיית המוליכים למחצה רואה לעתים קרובות מונח לחומרי מטרה, שניתן לחלק לחומרי רקיק וחומרי אריזה. לחומרי אריזה יש חסמים טכניים נמוכים יחסית לחומרי ייצור פרוסות. תהליך הייצור של פרוסות כולל בעיקר 7 סוגים של חומרים מוליכים למחצה וכימיקלים, כולל סוג אחד של חומר מטרה לקרטעת. אז מהו חומר היעד? מדוע חומר היעד כה חשוב? היום נדבר על מהו חומר היעד!

מהו חומר היעד?

במילים פשוטות, חומר המטרה הוא חומר המטרה המופגז על ידי חלקיקים טעונים במהירות גבוהה. על ידי החלפת חומרי מטרה שונים (כגון אלומיניום, נחושת, נירוסטה, טיטניום, מטרות ניקל וכו'), ניתן להשיג מערכות סרטים שונות (כגון סרטי סגסוגת סופר קשים, עמידים בפני שחיקה, אנטי קורוזיה וכו').

נכון לעכשיו, ניתן לחלק את חומרי היעד לקרטוט (טוהר) ל:

1) מטרות מתכת (אלומיניום מתכתי טהור, טיטניום, נחושת, טנטלום וכו')

2) מטרות סגסוגת (סגסוגת כרום ניקל, סגסוגת ניקל קובלט וכו')

3) מטרות תרכובות קרמיות (תחמוצות, סיליקידים, קרבידים, סולפידים וכו').

על פי מתגים שונים, ניתן לחלק אותו ל: מטרה ארוכה, מטרה מרובעת ומטרה מעגלית.

על פי שדות יישומים שונים, ניתן לחלק אותו ל: יעדי שבב מוליכים למחצה, יעדי תצוגה שטוחים, יעדי תאים סולאריים, יעדי אחסון מידע, יעדים מותאמים, יעדי מכשירים אלקטרוניים ומטרות אחרות.

על ידי הסתכלות על זה, היית צריך לקבל הבנה של מטרות קיטור בטוהר גבוה, כמו גם אלומיניום, טיטניום, נחושת וטנטלום המשמשים במטרות מתכת. בייצור פרוסות מוליכים למחצה, תהליך האלומיניום הוא בדרך כלל השיטה העיקרית לייצור פרוסות בגודל 200 מ"מ (8 אינץ') ומטה, וחומרי המטרה המשמשים הם בעיקר אלמנטים מאלומיניום וטיטניום. ייצור פרוסות בקוטר 300 מ"מ (12 אינץ'), בעיקר באמצעות טכנולוגיית חיבורי נחושת מתקדמת, בעיקר באמצעות מטרות נחושת וטנטלום.

כל אחד צריך להבין מהו חומר היעד. בסך הכל, עם המגוון ההולך וגדל של יישומי שבבים והביקוש הגובר בשוק השבבים, בהחלט תהיה עלייה בביקוש לארבעת חומרי מתכת הסרט הדק המיינסטרים בתעשייה, כלומר אלומיניום, טיטניום, טנטלום ונחושת. וכרגע, אין פתרון אחר שיכול להחליף את ארבעת חומרי המתכת הדקיקים הללו.