ציפוי ואקום בבחירת חומרי מטרה מקרטעת הייתה בעיה עבור אנשים, נכון לעכשיו, שכן ציפוי הקזת, במיוחד פיתוח כישורי ציפוי הקזת המגנטרון, ניתן לומר שכל מידע יוכל לכוון את הכנת החומר של סרטים דקים על ידי הפצצת יונים, כי על ידי קפיצת חומר מטרה בתהליך הציפוי לסוג המצע, יש השפעה חשובה על איכות הסרט המקרטעת, לכן, דרישות חומרי המטרה מחמירות יותר. כאן נלמד על תפקידה של מטרה מקרטעת בציפוי ואקום יחד עם העורך של Beijing Relaxation
一、עקרון הבחירה וסיווג חומר היעד
בבחירת חומר המטרה, בנוסף לשימוש בסרט עצמו, יש לקחת בחשבון גם את הבעיות הבאות:
בעיה 1. על פי דרישות השימוש והביצועים של הממברנה, יש צורך שחומר היעד יעמוד בדרישות הטכניות של טוהר, תוכן מגזין, אחידות רכיב, דיוק עיבוד וכן הלאה.
בעיה 2. חומר המטרה צריך להיות בעל חוזק מכני טוב ויציבות כימית לאחר יצירת הסרט;
בעיה 3. זה הכרחי עבור חומר הסרט ליצור סרט מורכב בקלות עם גז התגובה כמו סרט מקרטעת תגובתי;
בעיה 4. יש צורך להגדיר את היעד ואת המטריצה להיות חזקים, אחרת, יש לאמץ את חומר הסרט עם הידבקות טובה עם המטריצה, תחילה מקרטעים שכבה של סרט תחתון ואז מכינים את שכבת הסרט הנדרשת;
שאלה 5. בהנחה של עמידה בדרישות הביצועים של הסרט, ככל שההבדל בין מקדם ההתפשטות התרמית של המטרה והמטריצה קטן יותר, כך ייטב, כדי להפחית את השפעת הלחץ התרמי של הסרט המקרטעת;
הכנת מספר מטרות נפוצות
(1) מטרת cr
כרום כחומר סרט מקרטע הוא לא רק קל לשלב עם חומר הבסיס יש הידבקות גבוהה, וסרט כרום ותחמוצת CrQ3, התכונות המכניות שלו, עמידות חומצה ויציבות תרמית טובים יותר.
Beijing Ruichi High-tech Co., Ltd עוסקת בעיקר ב: מטרת זירקוניום טיטניום, מטרת אלומיניום, מטרת ניקל, מטרת כרום, מטרת טונגסטן, מטרת מוליבדן, מטרת נחושת, מטרת סיליקון, מטרת ניוביום, מטרת טנטלום, סגסוגת טיטניום-סיליקון מטרה, מטרה מסגסוגת טיטניום-ניוביום, מטרה מסגסוגת טיטניום-טונגסטן, סגסוגת טיטניום-זירקוניום מטרה, מטרה מסגסוגת ניקל-כרום, מטרה מסגסוגת סיליקה-אלומיניום, מטרה מסגסוגת ניקל-ונדיום, מטרה מסגסוגת כרום-אלומיניום-סיליקון, חומר מטרה מסגסוגת טי אל סי-טרנרית, בשימוש נרחב בקישוט/משטח קשיח וציפוי פונקציונלי, זכוכית אדריכלית , תצוגה שטוחה/פוטואלקטרי אופטי, אחסון אופטי, אלקטרוניקה, דפוס ומקצועות נוספים.
זמן פרסום: יוני-02-2022