מהן דרישות הביצועים של היעד

היעד הוא בעל שוק רחב, תחום יישומים ופיתוח גדול בעתיד. על מנת לעזור לך להבין טוב יותר את פונקציות היעד, כאן למטה יציג מהנדס RSM בקצרה את הדרישות הפונקציונליות העיקריות של היעד.

טוהר: טוהר הוא אחד המדדים הפונקציונליים העיקריים של המטרה, מכיוון שלטוהר המטרה יש השפעה רבה על תפקוד הסרט. עם זאת, ביישום מעשי, גם דרישות הטוהר של היעד שונות. לדוגמה, עם ההתפתחות המהירה של תעשיית המיקרו-אלקטרוניקה, גודל פרוסות הסיליקון מורחב מ-6 "ל-8" ל-12 ", ורוחב החיווט מצטמצם מ-0.5um ל-0.25um, 0.18um או אפילו 0.13um. בעבר, 99.995% מטוהר היעד יכול לעמוד בדרישות התהליך של 0.35umic, בעוד שהכנת קווים של 0.18um דורשת 99.999% או אפילו 99.9999% מטוהר היעד.

תכולת זיהומים: זיהומים במוצקי המטרה וחמצן ואדי מים בנקבוביות הם מקורות הזיהום העיקריים של סרטים שהופקדו. למטרות למטרות שונות יש דרישות שונות לתכולת טומאה שונה. לדוגמה, למטרות אלומיניום טהור וסגסוגת אלומיניום המשמשים בתעשיית המוליכים למחצה יש דרישות מיוחדות לתכולת מתכת אלקלית ותכולת יסודות רדיואקטיביים.

צפיפות: על מנת להקטין את הנקבוביות במוצק המטרה ולשפר את תפקוד הסרט מקרטעת, לרוב המטרה היא בעלת צפיפות גבוהה. הצפיפות של המטרה לא רק משפיעה על קצב הקפיצה, אלא גם משפיעה על הפונקציות החשמליות והאופטיות של הסרט. ככל שצפיפות המטרה גבוהה יותר, כך תפקוד הסרט טוב יותר. בנוסף, הצפיפות והחוזק של המטרה משופרים כך שהמטרה יכולה לקבל טוב יותר את הלחץ התרמי בתהליך הקפיצה. צפיפות היא גם אחד המדדים התפקודיים העיקריים של היעד.