מהן ההשפעות של חומר היעד על איכות הייצור של ציפוי שטח גדול

　　בניינים מודרניים החלו להשתמש בשטחים גדולים של תאורת זכוכית. היבט זה נותן לנו חדרים בהירים יותר ואופקים רחבים יותר. מצד שני, החום המועבר דרך הזכוכית גבוה בהרבה מהקירות שמסביב, וצריכת האנרגיה של הבניין כולו עולה משמעותית..

　　בהשוואה לשיעור הניצול של יותר מ-90% מזכוכית בעלת קרינה נמוכה במדינות מפותחות, שיעור החדירה של זכוכית נמוכה בסין עומד על כ-12% בלבד, ולסין יש עדיין הרבה מקום לפיתוח. זכוכית רגילה וזכוכית נמוכה באינטרנט, עלות הייצור של זכוכית LowE לא מקוונת היא גבוהה, מה שמגביל את היישום של דרגה מסוימת. למפעלי עיבוד זכוכית מקומיים יש את החובה להפחית ברציפות את עלות הייצור של מוצרי ציפוי, להאיץ את היישום, לחסוך באנרגיה, לשפר את הסביבה ולהשיג פיתוח בר-קיימא חברתי.

　　1、השפעת צורת המטרה

　　שטחים גדולים של ציפוי משתמשים לרוב בחומר מטרה בהתאם לצורה, כולל כיוון מישור וכיוון סיבוב. מטרות מישוריות כלליות כוללות מטרת נחושת, מטרת כסף,Nמטרת i-Cr ומטרה גרפיט. המטרה המסתובבת הכללית כוללת מטרת אלומיניום אבץ, מטרת פח אבץ, מטרת אלומיניום סיליקון, מטרת פח, מטרת תחמוצת טיטניום, מטרת אלומיניום תחמוצת אבץ וכן הלאה. צורת המטרה תשפיע על היציבות ותכונות הסרט של ציפוי מקרטעת מגנטרון, והניצול שיעור היעד גבוה מאוד. לאחר שינוי תכנון הצורה של היעד, ניתן לשפר את האיכות וכוח הייצור של הציפוי ולחסוך בעלויות.

　　2、השפעת הצפיפות היחסית ופינוי המטרה

הצפיפות היחסית ביעד היא היחס בין הצפיפות המעשית לצפיפות התיאורטית של המטרה, הצפיפות התיאורטית של המטרה הרכיב הבודד היא צפיפות הגביש, והצפיפות התיאורטית של יעד הסגסוגת או התערובת מחושבת על פי התיאורטי צפיפות כל יסוד והפרופורציה בסגסוגת או בתערובת.. סידור המטרה של המרסס התרמי הוא נקבובי, בעל חמצן גבוה (גם בתרסיס ואקום, היצור של תחמוצות ותרכובות חנקן במטרה מסגסוגת הוא בלתי נמנע), והמראה אפור וחסר ברק מתכתי. זיהומים ולחות נספגים הם המקורות העיקריים לזיהום.

3、השפעת גודל חלקיקי המטרה וכיוון הגביש

באותו משקל של מטרה, המטרה בעלת גודל החלקיקים הקטן מהירה יותר מהמטרה בעלת גודל החלקיקים הגדול. הסיבה לכך היא בעיקר כי לגבול החלקיקים בתהליך ההתזה קל לפלוש, ככל שגבול החלקיקים גדול יותר, כך היווצרות הסרט מהר יותר. גודל החלקיקים לא רק משפיע על מהירות הקפיצה, אלא גם משפיע על איכות היווצרות הסרט. לדוגמה, בתהליך הייצור של מוצרי EowE, NCr משמש כשכבת התחזוקה של שכבת האינפרא-אדום רפלקטיבית Ag, ולאיכותו יש השפעה רבה על מוצרי ציפוי. בשל מקדם ההכחדה הגדול של שכבת הסרט NiCr, היא בדרך כלל דקה (בערך 3nm). אם גודל החלקיקים גדול מדי, זמן הקפיצה מתקצר, הצפיפות של שכבת הסרט נהיית גרועה יותר, אפקט התחזוקה של שכבת Ag פוחתת, ומביאים לניקוי החמצון של מוצרי הציפוי.

　　מַסְקָנָה

　　תכנון הצורה של חומר המטרה משפיע בעיקר על קצב הניצול של חומר המטרה. תכנון גודל סביר יכול לשפר את שיעור הניצול של חומר היעד ולחסוך בעלויות. ככל שגודל החלקיקים קטן יותר, מהירות הציפוי מהירה יותר, כך האחידות טובה יותר. ככל שהטוהר והצפיפות גבוהים יותר, כך הנקבוביות נמוכה יותר, איכות הסרט טובה יותר, והסבירות להפחתת סיגים פריקה נמוכה יותר.