השימוש הרחב בחומר מטרה במקצועות שונים הופך את הביקוש לחומר מטרה גבוה יותר ויותר. הבא אנחנו נעשה להציג בקצרה אַתָה מהן הדרישות הפונקציונליות העיקריות של המטרה, הופing לעזור לך.
טוהר: טוהר הוא אחד המדדים הפונקציונליים העיקריים של המטרה, מכיוון שלטוהר המטרה יש השפעה רבה על תפקוד הסרט. אבל בפועל, טוהר חומר המטרה אינו זהה. לדוגמה, עם הצמיחה המהירה של מקצוע המיקרו-אלקטרוניקה, הגודל של פרוסות סיליקון התפתח מ-6", 8" ל-12", ורוחב החיווט ירד מ-0.5um ל-0.25um,0.18um ואפילו 0.13um. ברגע ש-99.995% מטוהר היעד יכולים לעמוד בדרישות הטכנולוגיות של 0.35UMIC. הכנת קו 0.18um דורשת 99.999% או אפילו 99.9999% טוהר של חומר המטרה.
צפיפות: על מנת להפחית את הנקבוביות במוצק המטרה ולשפר את תפקוד הסרט המקרטעת, לרוב נדרשת למטרה צפיפות גבוהה. צפיפות המטרה משפיעה לא רק על קצב הקפיצה אלא גם על המאפיינים החשמליים והאופטיים של הסרטים. ככל שצפיפות המטרה גבוהה יותר, כך תפקוד הסרט טוב יותר. בנוסף, הצפיפות והחוזק של חומר המטרה הוגדלו כדי להפוך אותו ליכולת טובה יותר לעמוד בלחץ התרמי במהלך הקפיצה. צפיפות היא גם אחד האינדיקטורים התפקודיים החשובים של חומרי מטרה.
תכולת טומאה: זיהומים במוצק המטרה ואדי חמצן ומים בנקבוביות הם מקורות הזיהום העיקריים של הסרטים המצטברים. לחומרי מטרה שונים למטרות שונות יש דרישות שונות לתכולת טומאה שונה. לדוגמה, למטרות אלומיניום טהור וסגסוגת אלומיניום המשמשים בתעשיית המוליכים למחצה יש דרישות מיוחדות לתכולת מתכת אלקלית ותכולת יסודות רדיואקטיביים.
זמן פרסום: יוני-06-2022