דרישות לקפיצת חומרי מטרה במהלך השימוש

לחומרי מטרה מנותקים דרישות גבוהות במהלך השימוש, לא רק לטוהר ולגודל החלקיקים, אלא גם לגודל החלקיקים האחיד. הדרישות הגבוהות הללו גורמות לנו לשים לב יותר בעת שימוש בחומרי מטרה מקרטעים.

1. הכנה לקפיצה

חשוב מאוד לשמור על ניקיון תא הוואקום, במיוחד מערכת הקפיצה. חומרי סיכה, אבק וכל שאריות מציפויים קודמים עלולים לצבור מזהמים כמו מים, להשפיע ישירות על הוואקום ולהגדיל את הסבירות לכשל בהיווצרות הסרט. קצרים חשמליים, קשת מטרה, משטחים מחוספסים ליצירת סרטים וזיהומים כימיים מוגזמים נגרמים בדרך כלל על ידי תאי קיזור לא נקיים, רובים ומטרות.

על מנת לשמור על מאפייני ההרכב של הציפוי, על הגז המקרטעת (ארגון או חמצן) להיות נקי ויבש. לאחר התקנת המצע בתא הקפיצה, יש לשאוב אוויר כדי להשיג את רמת הוואקום הנדרשת לתהליך.

2. ניקוי מטרה

מטרת ניקוי המטרה היא להסיר כל אבק או לכלוך שעלולים להתקיים על פני המטרה.

3. התקנת יעד

הדבר החשוב ביותר שיש לשים לב אליו בתהליך ההתקנה של חומר המטרה הוא להבטיח חיבור תרמי טוב בין חומר המטרה לקיר הקירור של אקדח הקפיצה. אם קיר הקירור או הלוח האחורי מעוותים מאוד, זה עלול לגרום לסדק או כיפוף במהלך התקנת חומר המטרה. העברת החום מהמטרה האחורית לחומר המטרה תושפע מאוד, וכתוצאה מכך חוסר היכולת לפזר חום במהלך הקפיצה, מה שיוביל בסופו של דבר לסדק או סטייה של חומר המטרה.

4. בדיקת קצר חשמלי ואיטום

לאחר התקנת חומר המטרה, יש צורך לבדוק את הקצר והאטימה של הקתודה כולה. מומלץ להשתמש ב-ohmmeter וב-megohmmeter כדי לקבוע אם הקתודה קצרה. לאחר אישור שהקתודה אינה קצרה, ניתן לבצע איתור נזילות על ידי הזרקת מים לקתודה כדי לקבוע אם יש דליפה כלשהי.

5. חומר היעד מקרטעת מראש

מומלץ להשתמש בגז ארגון טהור לקריזה מוקדמת של חומר המטרה, שיכול לנקות את פני חומר המטרה. מומלץ להגדיל לאט את עוצמת הקפיצה במהלך תהליך הקיזוז המקדים של חומר המטרה. כוחו של חומר המטרה הקרמי