מאפיינים עיקריים של מקרטעת חומר מטרה

אנחנו חייבים להכיר היטב את היעד עכשיו, עכשיו גם שוק היעד הולך וגדל, להלן הביצועים העיקריים של מטרת מקרטעת משותף על ידי עורך מ-RSM

　　הטוהר

טוהר חומר המטרה הוא אחד מדדי הביצועים העיקריים, מכיוון שלטוהר חומר המטרה יש השפעה רבה על הביצועים של סרט דק. עם זאת, ביישום מעשי, דרישות הטוהר של חומרי המטרה אינן זהות. לדוגמה, עם ההתפתחות המהירה של תעשיית המיקרו-אלקטרוניקה, גודל שבב הסיליקון פותח מ-6 אינץ', 8 "ל-12 אינץ', ורוחב החיווט הצטמצם מ-0.5um ל-0.25um, 0.18um או אפילו 0.13um. בעבר, הטוהר של חומר יעד של 99.995% יכול לעמוד בדרישות התהליך של 0.35umIC. הטוהר של חומר המטרה הוא 99.999% או אפילו 99.9999% להכנת קווים של 0.18um.

　　תוכן טומאה

הזיהומים במוצק המטרה והחמצן ואדי המים בנקבוביות הם מקורות הזיהום העיקריים של שקיעת הסרט. לחומרי יעד למטרות שונות יש דרישות שונות לתכולת טומאה שונה. לדוגמה, למטרות אלומיניום טהור וסגסוגת אלומיניום המשמשים בתעשיית המוליכים למחצה יש דרישות מיוחדות לתוכן של מתכות אלקליות ואלמנטים רדיואקטיביים.

　　הצפיפות

על מנת להפחית את הנקבוביות במוצק המטרה ולשפר את הביצועים של הסרט המקרטעת, לרוב נדרשת צפיפות גבוהה של המטרה. צפיפות המטרה משפיעה לא רק על קצב הקפיצה אלא גם על התכונות החשמליות והאופטיות של הסרט. ככל שצפיפות המטרה גבוהה יותר, כך ביצועי הסרט טובים יותר. בנוסף, הגדלת הצפיפות והחוזק של המטרה גורמת למטרה לעמוד טוב יותר בלחץ התרמי בתהליך הקפיצה. צפיפות היא גם אחד מדדי הביצועים העיקריים של היעד.

　　גודל גרגר ופיזור גודל גרגר

היעד הוא בדרך כלל רב גבישי עם גודל גרגר שנע בין מיקרומטר למילימטר. עבור אותה מטרה, קצב הקפיצה של המטרה עם גרגרים קטנים מהיר יותר מזה של המטרה עם גרגרים גדולים. התפלגות העובי של הסרטים שהופקדו על ידי קפיצת מטרה עם הבדל קטן יותר בגודל גרגר (חלוקה אחידה) היא אחידה יותר.