כיצד לשפר את שיעור הניצול של חומרי מטרה מוליבדן

מטרות מוליבדן מרוסקות נמצאות בשימוש נרחב בתעשיית האלקטרוניקה, תאים סולאריים, ציפוי זכוכית ותחומים אחרים בשל היתרונות הטמונים בהם. עם ההתפתחות המהירה של הטכנולוגיה המודרנית במזעור, אינטגרציה, דיגיטציה ומודיעין, השימוש ביעדי מוליבדן ימשיך לגדול, וגם דרישות האיכות עבורם יהפכו גבוהות יותר ויותר. אז אנחנו צריכים למצוא דרכים לשפר את שיעור הניצול של מטרות מוליבדן. כעת, העורך של RSM יציג מספר שיטות לשיפור קצב הניצול של מטרות מוליבדן מקרטעות לכולם

1. הוסף סליל אלקטרומגנטי בצד ההפוך

על מנת לשפר את קצב הניצול של יעד המוליבדן המקרטע, ניתן להוסיף סליל אלקטרומגנטי בצד ההפוך של מטרת המוליבדן המקרטעת מגנטרון המישורית, ולהגדיל את השדה המגנטי על פני מטרת המוליבדן על ידי הגדלת הזרם של הסליל האלקטרומגנטי, כדי לשפר את קצב הניצול של יעד המוליבדן.

2. בחר חומר מטרה מסתובב צינורי

בהשוואה למטרות שטוחות, בחירה במבנה מטרה מסתובבת צינורית מדגישה את היתרונות המהותיים שלה. ככלל, שיעור הניצול של מטרות שטוחות הוא רק 30% עד 50%, בעוד ששיעור הניצול של מטרות מסתובבות צינוריות יכול להגיע ליותר מ-80%. יתר על כן, בעת שימוש ביעד מקרטעת מגנטרון הצינור החלול המסתובב, מכיוון שהמטרה יכולה להסתובב סביב מכלול מגנט המוט הקבוע כל הזמן, לא יהיה מיקום מחדש על פני השטח שלו, כך שאורך החיים של המטרה המסתובבת הוא בדרך כלל יותר מפי 5 מזו של יעד המטוס.

3. החלף בציוד קיצוץ חדש

המפתח לשיפור קצב הניצול של חומרי המטרה הוא השלמת החלפת ציוד הקפיצה. במהלך תהליך הקפיצה של חומר מטרה לקרטעת מוליבדן, כשישית מהאטומים המקרטעים יתייצבו על דופן תא הוואקום או התושבת לאחר שנפגעו על ידי יוני מימן, מה שיגדיל את עלות ניקוי ציוד הוואקום ואת זמן ההשבתה. כך שהחלפת ציוד קפיצה חדש יכולה גם לעזור לשפר את קצב הניצול של מטרות מוליבדן מקרטעות.