פונקציות של קפיצת מטרות בציפוי ואקום

ליעד יש השפעות רבות, ומרחב הפיתוח בשוק גדול. זה מאוד שימושי בתחומים רבים. כמעט כל ציוד הקפיצה החדש משתמש במגנטים רבי עוצמה כדי לסליל אלקטרונים כדי להאיץ את היינון של ארגון סביב המטרה, וכתוצאה מכך לעלייה בסבירות להתנגשות בין המטרה ליוני הארגון. עכשיו בואו נסתכל על תפקידה של מטרה מקרטעת בציפוי ואקום.

שפר את קצב הקפיצה. בדרך כלל, תרסיס DC משמש לציפוי מתכת, בעוד שקריסת RF AC משמשת לחומרים מגנטיים קרמיים לא מוליכים. העיקרון הבסיסי הוא להשתמש בפריקת זוהר כדי לפגוע ביוני ארגון (AR) על פני המטרה בוואקום, והקטיונים בפלזמה יאיץ למהר אל משטח האלקטרודה השלילי כחומר הניתז. פגיעה זו תגרום לחומר של המטרה לעוף החוצה ולהפקיד על המצע ליצירת סרט.

באופן כללי, ישנם מספר מאפיינים של ציפוי סרט על ידי תהליך קפיצה: (1) ניתן להפוך מתכת, סגסוגת או מבודד לנתוני סרט.

(2) בתנאי הגדרה מתאימים, הסרט עם אותו הרכב יכול להיעשות ממטרות מרובות ומופרעות.

(3) ניתן לייצר את התערובת או התרכובת של חומר מטרה ומולקולות גז על ידי הוספת חמצן או גזים פעילים אחרים באווירת הפריקה.

(4) ניתן לשלוט בזרם הכניסה של המטרה ובזמן הקפיצה, וקל להשיג עובי סרט ברמת דיוק גבוהה.

(5) בהשוואה לתהליכים אחרים, זה תורם לייצור סרטים אחידים בשטח גדול.

(6) החלקיקים המקרטעים כמעט ואינם מושפעים מכוח הכבידה, וניתן לסדר את מיקומי המטרה והמצע באופן חופשי.