הבדלים בין ציפוי אידוי לציפוי מתסיס

כפי שכולנו יודעים, השיטות הנפוצות בשימוש בציפוי ואקום הן טרנספירציה בוואקום וקיזוז יונים. מה ההבדל בין ציפוי טרנספירציה לציפוי מקרטעת רביםאֲנָשִׁים יש שאלות כאלה. בואו נשתף אתכם בהבדל בין ציפוי טרנספירציה לציפוי מקרטעת

סרט טרנספירציה ואקום נועד לחמם את הנתונים שיהיו טרנספירציה לטמפרטורה קבועה באמצעות חימום התנגדות או קרן אלקטרונים והפגזת לייזר בסביבה עם דרגת ואקום של לא פחות מ-10-2Pa, כך שאנרגיית הרטט התרמית של מולקולות או האטומים בנתונים עולים על אנרגיית הקישור של פני השטח, כך שמולקולות או אטומים רבים עוברים או גדלים, ומפקידים אותם ישירות על המצע ליצירת סרט. ציפוי מקרט יונים משתמש בתנועת החזרה גבוהה של יונים חיוביים שנוצרו על ידי פריקת גז תחת השפעת שדה חשמלי כדי להפציץ את המטרה כקתודה, כך שהאטומים או המולקולות במטרה בורחים ומושקעים על פני השטח של חומר העבודה המצופה כדי ליצור הסרט הנדרש.

השיטה הנפוצה ביותר לציפוי טרנספירציה בוואקום היא שיטת חימום התנגדות. היתרונות שלו הם המבנה הפשוט של מקור החימום, עלות נמוכה ותפעול נוח. החסרונות שלו הם שהוא אינו מתאים למתכות עקשנות ומדיה עמידה בטמפרטורה גבוהה. חימום קרן אלקטרוני וחימום לייזר יכולים להתגבר על החסרונות של חימום התנגדות. בחימום אלומת האלקטרונים, אלומת האלקטרונים הממוקדת משמשת לחימום ישיר של הנתונים המוקלפים, והאנרגיה הקינטית של אלומת האלקטרונים הופכת לאנרגיית חום כדי לבצע טרנספירציה של הנתונים. חימום בלייזר משתמש בלייזר בעל הספק גבוה כמקור החימום, אך בשל העלות הגבוהה של לייזר בעל הספק גבוה, ניתן להשתמש בו רק במספר קטן של מעבדות מחקר.

מיומנות הקפיצה שונה ממיומנות הטרנספירציה בוואקום. קפיצה מתייחסת לתופעה שחלקיקים טעונים מפציצים בחזרה אל פני השטח (המטרה) של הגוף, כך שאטומים או מולקולות מוצקים נפלטים מפני השטח. רוב החלקיקים הנפלטים הם אטומיים, מה שנקרא לעתים קרובות אטומים מרוסקים. חלקיקים מרוסקים המשמשים להפגזת מטרות יכולים להיות אלקטרונים, יונים או חלקיקים ניטרליים. מכיוון שקל להשיג ליונים את האנרגיה הקינטית הנדרשת תחת שדה חשמלי, יונים נבחרים בעיקר כחלקיקים להפגזה.

תהליך הקפיצה מבוסס על פריקת זוהר, כלומר, היונים המקרטעים מגיעים מפריקת גז. למיומנויות קפיצה שונות יש שיטות שונות של פריקת זוהר. מקרטעת דיודות DC משתמשת בפריקת זוהר DC; קפיצת טריודה היא פריקת זוהר הנתמכת על ידי קתודה חמה; RF sputtering משתמש בפריקת זוהר RF; מקרטעת מגנטרונים היא פריקת זוהר הנשלטת על ידי שדה מגנטי טבעתי.

בהשוואה לציפוי טרנספירציה בוואקום, לציפוי מקרטעת יתרונות רבים. אם ניתן לקרטט חומר כלשהו, ​​במיוחד יסודות ותרכובות עם נקודת התכה גבוהה ולחץ אדים נמוך; ההידבקות בין הסרט המקרטע למצע טובה; צפיפות סרט גבוהה; ניתן לשלוט בעובי הסרט והחזרה טובה. החיסרון הוא שהציוד מורכב ודורש התקני מתח גבוה.

בנוסף, השילוב של שיטת הטרנספירציה ושיטת הקפיצה הוא ציפוי יונים. היתרונות של שיטה זו הם הידבקות חזקה בין הסרט למצע, קצב שיקוע גבוה וצפיפות גבוהה של הסרט.