שדות יישום של מטרות מקרטעות

כפי שכולנו יודעים, ישנם מפרטים רבים של מטרות מקרטעות, וגם תחומי היישום שלהן רחבים מאוד. גם סוגי המטרות הנפוצים בתחומים שונים שונים. היום, בואו נלמד על הסיווג של שדות יישומי מטרה מקרטעים עם העורך של RSM!

　　1、 הגדרה של מטרת מקרטעת

קפיצה היא אחת הטכנולוגיות העיקריות להכנת חומרי סרט דק. הוא משתמש ביונים המיוצרים על ידי מקור היונים כדי להאיץ ולהתאסף בוואקום כדי ליצור אלומת יונים במהירות גבוהה, להפציץ את המשטח המוצק, והיונים מחליפים אנרגיה קינטית עם האטומים על המשטח המוצק, כך שהאטומים על המוצק פני השטח מופרדים מהמוצק ומופקדים על פני המצע. המוצק המופגז הוא חומר הגלם להכנת הסרט הדק שהופקד בקילוח, מה שנקרא מקרטעת מטרה.

　　2、 סיווג שדות יישומי מטרת מקרטעת

　1. יעד מוליכים למחצה

(1) מטרות נפוצות: מטרות נפוצות בתחום זה כוללות מתכות בנקודת התכה גבוהה כגון טנטלום / נחושת / טיטניום / אלומיניום / זהב / ניקל.

(2) שימוש: משמש בעיקר כחומרי גלם מרכזיים למעגלים משולבים.

(3) דרישות ביצוע: דרישות טכניות גבוהות לטוהר, גודל, אינטגרציה וכו'.

　　2. יעד לתצוגה שטוחה

(1) מטרות נפוצות: מטרות נפוצות בתחום זה כוללות אלומיניום / נחושת / מוליבדן / ניקל / ניוביום / סיליקון / כרום וכו'.

(2) שימוש: מטרה מסוג זה משמשת בעיקר לסוגים שונים של סרטים בשטח גדול כגון טלוויזיות ומחברות.

(3) דרישות ביצוע: דרישות גבוהות לטוהר, שטח גדול, אחידות וכו'.

　　3. חומר מטרה לתא סולארי

(1) מטרות נפוצות: אלומיניום / נחושת / מוליבדן / כרום /ITO/Ta ומטרות אחרות לתאים סולאריים.

(2) שימוש: משמש בעיקר ב"שכבת חלון", שכבת מחסום, אלקטרודה וסרט מוליך.

(3) דרישות ביצועים: דרישות טכניות גבוהות וטווח יישומים רחב.

　　4. יעד לאחסון מידע

(1) מטרות נפוצות: מטרות נפוצות של קובלט / ניקל / סגסוגת ברזל / כרום / טלוריום / סלניום וחומרים אחרים לאחסון מידע.

(2) שימוש: סוג זה של חומר מטרה משמש בעיקר לראש המגנטי, השכבה האמצעית והשכבה התחתונה של הכונן האופטי והדיסק האופטי.

(3) דרישות ביצועים: נדרשות צפיפות אחסון גבוהה ומהירות שידור גבוהה.

　　5. יעד לשינוי כלי

(1) מטרות נפוצות: מטרות נפוצות כגון טיטניום / זירקוניום / סגסוגת אלומיניום כרום ששונתה על ידי כלים.

(2) שימוש: משמש בדרך כלל לחיזוק פני השטח.

(3) דרישות ביצועים: דרישות ביצועים גבוהות וחיי שירות ארוכים.

　　6. מטרות למכשירים אלקטרוניים

(1) מטרות נפוצות: מטרות סגסוגת אלומיניום / סיליקיד נפוצות עבור מכשירים אלקטרוניים

(2) מטרה: משמש בדרך כלל עבור נגדי סרט דק וקבלים.

(3) דרישות ביצועים: גודל קטן, יציבות, מקדם טמפרטורת התנגדות נמוך