חומר מטרה לתחמוצת אלומיניום, חומר המורכב בעיקר מתחמוצת אלומיניום בטוהר גבוה (Al2O3), משמש בטכנולוגיות שונות להכנת סרטים דקים, כגון קיצוץ מגנטרונים, אידוי קרן אלקטרונים ועוד. תחמוצת אלומיניום, כחומר קשה ויציב מבחינה כימית, חומר המטרה שלו יכול...
קרא עוד