Il bersaglio è confezionato in un sacchetto di plastica a doppio vuoto. Sosteniamo che gli utenti conservino il target, sia esso in metallo o ceramica, in confezioni sottovuoto, in particolare il target adesivo deve essere conservato sottovuoto per evitare che l'ossidazione dello strato adesivo influisca sulla qualità dell'incollaggio. Per quanto riguarda l'imballaggio dei target metallici, insistiamo sul fatto che il requisito minimo è imballarli in sacchetti di plastica puliti. Di seguito l'autore di Beijing Richmat per condividere con voi quali sono le capacità di conservazione e manutenzione degli obiettivi in lega
Le competenze di manutenzione relative al target della lega sono le seguenti:
Per evitare cortocircuiti e archi dovuti a cavità sporche nel processo di sputtering, è necessario rimuovere il centro della traccia di sputtering ed entrambi i lati dell'accumulo di sputtering, il che aiuta anche gli utenti a continuare alla massima densità di potenza dello sputtering.
Passaggio 1: pulire con un panno privo di pile imbevuto di acetone;
Passaggio 2: pulire con alcool in modo simile al passaggio 1;
Passaggio 3: lavare con acqua deionizzata. Dopo la pulizia con acqua deionizzata, il target viene posto in un forno ad asciugare a 100 gradi Celsius per 30 minuti. I target in ossido e ceramica vengono puliti con un “panno senza flanella”.
Fase 4: dopo aver rimosso l'area polverosa, viene utilizzato argon con gas ad alta pressione e bassa umidità per lavare il bersaglio e rimuovere tutte le particelle di impurità che potrebbero formare archi nel sistema di sputtering.
Orario di pubblicazione: 07-giu-2022