Attualmente, nei principali produttori di bersagli per spruzzi del mondo, esistono due metodi diversi per la produzione di bersagli per spruzzi in lega di alluminio. Uno è scegliere il metodo di fusione per produrre il lingotto e quindi eseguire il processo di fusione. L'altro è realizzato mediante stampaggio a spruzzo. Lascia che l'editore di Pechino ti permetta di condividere, riguardo al processo di produzione dell'obiettivo in lega di alluminio e titanio, quali sono il buon senso.
Per quanto riguarda i metodi di colata/colata noti, quando si produce il target di sputtering in lega di alluminio, il target di sputtering in lega di alluminio è spesso soggetto a segregazione a causa dell'aggiunta di elementi di lega, con conseguente scarsa qualità della pellicola spruzzata e di microparticelle sono facili che si verificano sulla superficie del bersaglio di sputtering, il che influenzerà anche l'uniformità delle proprietà della pellicola; tuttavia, se viene utilizzato il metodo di formatura a spruzzo noto per produrre il bersaglio di sputtering in lega di alluminio, sebbene i difetti correlati sopra menzionati possano essere impedito, il costo di produzione del target di sputtering sarà notevolmente migliorato, soprattutto quando si producono alcuni target di sputtering che non sono facili da lanciare e devono essere pressati a caldo, il costo sarà migliorato utilizzando la pressatura a caldo.
Al fine di rendere il processo di produzione del target in lega di alluminio e titanio più semplice e a costi inferiori, qui viene introdotto un metodo di produzione del target sputtering in lega di alluminio con polvere spray ad aria. Il suo principio si riferisce al fatto che una polvere di materiale del bersaglio di sputtering viene prodotta mediante il metodo di spruzzatura ad aria in base al rapporto di composizione della lega, quindi la polvere di lega viene vagliata per ottenere la dimensione delle particelle di polvere appropriata. Infine, la polvere viene pressata a caldo sotto vuoto per creare un bersaglio per lo sputtering in lega di alluminio.
Questo metodo di produzione di bersagli antispruzzo in lega di alluminio con polvere spray ad aria può essere utilizzato per produrre vari bersagli antispruzzo in lega di alluminio (alluminio cromo, alluminio silicio rame, alluminio titanio, ecc.). Le fasi di implementazione preferite sono: fornitura di materiali metallici per la produzione di bersagli antispruzzo in lega di alluminio e fusione degli stessi in metallo fuso; quindi, il metallo fuso viene trasformato in polvere metallica mediante il metodo di spruzzatura ad aria; Infine, la polvere metallica viene formata mediante pressatura a caldo sotto vuoto per creare un bersaglio per lo sputtering in lega di alluminio e il gas inerte viene introdotto come gas di manutenzione. Questo metodo può prevenire la segregazione dei dati e i difetti delle microparticelle e produrre target di sputtering di alta qualità in modo più rapido ed economico.
Orario di pubblicazione: 01-giu-2022