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Le ragioni della caduta dello strato di pellicola di rivestimento per sputtering sotto vuoto

Sul motivo per cui lo strato di rivestimento sotto vuoto cadrà da questo problema, deve essere in fase di utilizzo, ci sono molti clienti che incontreranno questi problemi, ora lasciamo cheRSM (Ricco materiale speciale Co., Ltd.)Piccolo trucco da spiegare, per quali motivi lo strato di rivestimento sottovuoto cade?

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1.Se la pulizia della superficie del target non è sufficiente, è necessario aumentare la quantità e il tempo di utilizzo dell'argon durante la pulizia della sorgente ionica

2.Per lo sgrassaggio e lo sgrassaggio incompleti, il trattamento pre-placcatura deve essere rafforzato

3.La camera a vuoto non è sufficientemente pulita, quindi è necessario pulirla. Vale la pena notare che nel processo di mira e smantellamento dei bersagli, è severamente vietato toccare direttamente con le mani o oggetti impuri e la fonte di controllo magnetico, in modo da garantire che la fonte di controllo magnetico abbia un'elevata pulizia.

4.Se la fascetta non è sufficientemente pulita, dovrà essere pulita

5.Durante lo sputtering sotto vuoto, la sigillatura della cavità vera deve essere testata ripetutamente prima del rivestimento

6.SpLa progettazione del processo di pronuncia non è adatta, il processo di sputtering dovrebbe essere migliorato.

7.Avvelenamento da materiale target, sostituire il nuovo materiale target

Quanto sopra riguarda lo strato di rivestimento sottovuoto che cadrà per diversi motivi, se non capisci, benvenuto a consultareRicco materiale speciale Co., Ltd.personale, forniremo ai clienti soluzioni più rapide e precise!RSMfornitore di materiale target professionale, è la scelta migliore!


Orario di pubblicazione: 14 giugno 2022