1、 Preparazione allo sputtering
È molto importante mantenere pulita la camera del vuoto, in particolare il sistema di sputtering. Qualsiasi residuo formato dall'olio lubrificante, dalla polvere e dal rivestimento precedente raccoglierà vapore acqueo e altri inquinanti, che influenzeranno direttamente il grado di vuoto e aumenteranno la possibilità di rottura della pellicola. Cortocircuiti o archi sul bersaglio, superficie ruvida della pellicola e contenuto eccessivo di impurità chimiche sono spesso causati da camera di spruzzatura, pistola di spruzzatura e bersaglio sporchi. Per aderire alle caratteristiche della composizione del rivestimento, è necessario pulire ed asciugare il gas di sputtering (argon o ossigeno). Dopo che il substrato è stato installato nella camera di sputtering, l'aria deve essere estratta per raggiungere il vuoto richiesto dal processo. Anche la copertura schermante nell'area buia, nella parete della cavità e nella superficie adiacente deve essere mantenuta pulita. Quando si pulisce la camera a vuoto, si consiglia di utilizzare la pallinatura con sfere di vetro per trattare le parti polverose, insieme all'aria compressa per rimuovere i primi residui di sputtering attorno alla camera, quindi lucidare silenziosamente la superficie esterna con carta vetrata impregnata di allumina. Dopo aver lucidato la carta di garza, viene pulita con alcool, acetone e acqua deionizzata. Insieme, sostengono l'uso dell'aspirapolvere industriale per la pulizia ausiliaria. Gli obiettivi prodotti da Gaozhan metal sono confezionati in sacchetti di plastica sigillati sotto vuoto,
Agente antiumidità integrato. Quando si utilizza il bersaglio, non toccare direttamente il bersaglio con la mano. Nota: quando si utilizza il target, indossare guanti per la manutenzione puliti e privi di pelucchi. Non toccare mai il bersaglio direttamente con le mani
2、Pulizia del bersaglio
Lo scopo della pulizia del target è rimuovere la polvere o lo sporco che potrebbero esistere sulla superficie del target.
Il bersaglio metallico può essere pulito in quattro passaggi,
Il primo passo è pulire con un panno morbido e privo di pelucchi imbevuto di acetone;
Il secondo passaggio è simile al primo passaggio, ovvero la pulizia con alcool;
Passaggio 3: pulire con acqua deionizzata. Dopo il lavaggio con acqua deionizzata, posizionare il target nel forno e asciugarlo a 100 ℃ per 30 minuti.
La pulizia dell'ossido e dei target ceramici deve essere effettuata con un “panno privo di lanugine”.
Il quarto passaggio consiste nel lavare il bersaglio con argon ad alta pressione e gas a basso contenuto d'acqua dopo aver rimosso l'area polverosa, in modo da rimuovere tutte le particelle di impurità che potrebbero formare un arco nel sistema di sputtering
3、 Dispositivo di destinazione
Nel processo di installazione del target, le precauzioni Z importanti consistono nel garantire una buona connessione di conduzione termica tra il target e la parete di raffreddamento della pistola sputtering. Se la deformazione della doga di raffreddamento è grave o la deformazione della piastra posteriore è grave, il dispositivo target si spezzerà o si piegherà e la conduttività termica dal target posteriore al target sarà notevolmente influenzata, con conseguente mancata dissipazione del calore nel processo di sputtering e il bersaglio si spezzerà o mancherà
Per garantire la conduttività termica, è possibile inserire uno strato di carta grafitata tra la parete di raffreddamento del catodo e il bersaglio. Si prega di prestare attenzione a controllare attentamente e a chiarire la planarità della parete di raffreddamento della pistola a spruzzo utilizzata per garantire che l'O-ring sia sempre in posizione.
Poiché l'acqua di raffreddamento utilizzata e la polvere che potrebbe formarsi durante il funzionamento dell'apparecchiatura si depositeranno nel serbatoio dell'acqua di raffreddamento del catodo, è necessario controllare e pulire il serbatoio dell'acqua di raffreddamento del catodo durante l'installazione del target per garantire un funzionamento regolare circolazione dell'acqua di raffreddamento e che l'ingresso e l'uscita non siano bloccati.
Alcuni catodi sono progettati per avere un piccolo spazio con l'anodo, quindi quando si installa il bersaglio è necessario assicurarsi che non ci sia contatto o conduttore tra il catodo e l'anodo, altrimenti si verificherà un cortocircuito.
Fare riferimento al Manuale dell'operatore dell'attrezzatura per informazioni su come utilizzare correttamente il target. Se nel manuale dell'utente non sono presenti tali informazioni, provare a installare il dispositivo secondo i suggerimenti pertinenti forniti da Gaozhan metal. Quando si stringe il dispositivo di destinazione, serrare prima un bullone a mano, quindi serrare a mano un altro bullone sulla diagonale. Ripeti l'operazione finché tutti i bulloni del dispositivo non vengono serrati, quindi stringi con qualcosa.
4、 Controllo del cortocircuito e della tenuta
Dopo il completamento del dispositivo target, è necessario verificare il cortocircuito e la tenuta dell'intero catodo,
Si propone di determinare se c'è un cortocircuito nel catodo utilizzando un misuratore di resistenza
Discriminazione di fila. Dopo aver confermato che non vi è cortocircuito nel catodo, è possibile eseguire il rilevamento delle perdite e introdurre acqua nel catodo per confermare se vi sono perdite d'acqua.
5、 Pre-sputtering del target
Il pre-sputtering del target sostiene lo sputtering di argon puro, che può pulire la superficie del target. Quando il target è pre-sputterizzato, si consiglia di aumentare lentamente la potenza di sputtering e il tasso di aumento di potenza del target ceramico è 1,5WH/cm2. La velocità di pre-sputtering del target metallico può essere superiore a quella del blocco target in ceramica e un tasso di aumento di potenza ragionevole è 1,5WH/cm2.
Nel processo di pre-sputtering, dobbiamo controllare l'arco del bersaglio. Il tempo di pre-sputtering è generalmente di circa 10 minuti. Se non si verificano fenomeni di arco, aumentare continuamente la potenza di sputtering
Alla potenza impostata. Secondo l'esperienza, l'alto potere di sputtering Z accettabile del bersaglio metallico è
25watt/cm2, 10watt/cm2 per bersaglio in ceramica. Fare riferimento alle basi di impostazione e all'esperienza della pressione della camera a vuoto durante lo sputtering nel manuale operativo del sistema dell'utente. In generale, è necessario garantire che la temperatura dell'acqua all'uscita dell'acqua di raffreddamento sia inferiore a 35 ℃, ma è importante garantire che il sistema di circolazione dell'acqua di raffreddamento possa funzionare in modo efficace
La rapida circolazione dell'acqua di sottoraffreddamento toglie calore, il che rappresenta un'importante garanzia per garantire uno sputtering continuo con elevata potenza. Per gli obiettivi metallici, si sostiene generalmente che il flusso dell'acqua di raffreddamento lo sia
La pressione dell'acqua a 20 litri al minuto è di circa 5 gmp; Per gli obiettivi in ceramica, si consiglia generalmente che il flusso d'acqua sia di 30 lpm e che la pressione dell'acqua sia di circa 9 gmp
6、 Mantenimento degli obiettivi
Per evitare cortocircuiti e archi causati da cavità sporche nel processo di sputtering, è necessario rimuovere gradualmente lo sputtering accumulato al centro e su entrambi i lati della pista di sputtering,
Ciò aiuta anche gli utenti a sputterare continuamente ad alta densità di potenza
7、 Memorizzazione del target
Gli obiettivi forniti da Gaozhan metal sono confezionati in sacchetti di plastica sottovuoto a doppio strato. Sosteniamo che gli utenti conservino gli obiettivi, siano essi di metallo o ceramica, in confezioni sottovuoto. In particolare, gli obiettivi di incollaggio devono essere conservati in condizioni di vuoto per evitare che l'ossidazione dello strato adesivo possa compromettere la qualità dell'incollaggio. Per quanto riguarda l'imballaggio dei bersagli metallici, sosteniamo che Z dovrebbe essere imballato in sacchetti di plastica puliti
Orario di pubblicazione: 13 maggio 2022